Galvenās PVD pārklājuma mašīnas sastāvdaļas ietver šādas daļas:
Vakuuma kamera: pārklājuma process jāveic augstos vakuuma apstākļos. Vakuuma kamera ir galvenā daļa, lai saglabātu augsta vakuuma stāvokli kamerā. Parasti tas ir izgatavots no nerūsējošā tērauda vai citiem korozijai izturīgiem materiāliem, un interjers ir īpaši apstrādāts, lai izvairītos no gāzes noplūdes.
Mērķa piegādes sistēma: mērķi izmanto, lai ģenerētu iztvaikošanas vai jonu staru avotu. Mērķa piegādes sistēma parasti sastāv no sildītāja, mērķa turētāja un sensora, lai kontrolētu mērķa temperatūru un mērķa virsmas iztvaikošanas ātrumu.
Papildu apkures sistēma: dažos īpašos gadījumos pārklājuma efekta uzlabošanai ir nepieciešama papildu apkure. Papildu sildīšanas sistēma parasti sastāv no sildītāja un sildīšanas vadības ierīces, kas var nodrošināt papildu sildīšanas enerģiju.
Substrāta armatūra: to izmanto pārklājamā substrāta salabošanai, parasti sastāv no armatūras rāmja un armatūras. Armatūrai jābūt labai siltumvadītspējai, lai sildīšanas enerģiju varētu vienmērīgi pārnest uz substrātu.
Izplūdes sistēma: to izmanto, lai noņemtu gāzi vakuuma kamerā, lai saglabātu augstu vakuuma pakāpi. Parasti tas ietver vairāku sūkņu, piemēram, mehānisko sūkņu, molekulāro sūkņu un difūzijas sūkņu, kombināciju.
Vadības sistēma: izmantota, lai uzraudzītu un kontrolētu visu pārklājuma procesu. Ieskaitot temperatūras kontroli, vakuuma uzraudzību, mērķa iztvaikošanas ātruma kontroli utt. Dažas uzlabotas PVD pārklājuma mašīnas ir aprīkotas arī ar automātiskām vadības sistēmām, lai sasniegtu automatizētu ražošanu.
