Produkta pārskats
Industriālā katoda loka iztvaikošanas sistēma ir ražošanas -pakāpes fiziskās tvaiku pārklāšanas (PVD) platforma, kas izstrādāta nodilumizturīgu-, korozijizturīgu- un zemas-berzes cietu pārklājumu uzklāšanai. Izmantojot zema-sprieguma, lielas-strāvas elektriskos lokus, cietā katoda mērķi tiek nekavējoties iztvaicēti un jonizēti katoda vietā, radot ļoti jonizētu metāla plazmu.
Šī sistēma ir izstrādāta un ražota saskaņā ar ISO 9001 kvalitātes vadības standartiem un CE atbilstības direktīvām, un tā ir konfigurēta augstas -caurlaidības pārklāšanas darbībām instrumentu ražošanas, automobiļu komponentu un rūpnieciskās aparatūras nozarēs. Standarta konfigurācijās ir integrēti vairāku-katodu izkārtojumi ar neatkarīgu magnētiskā-lauka vadību, programmējamiem līdzstrāvas/impulsu slīpuma barošanas avotiem un automatizētu vakuuma vadību, lai uzturētu konsekventu plēves stehiometriju un blīvas mikrostruktūras.
-
![Loka iztvaikošanas plānslāņa sistēma]()
Loka iztvaikošanas plānslāņa sistēmaRūpnieciskā katoda loka iztvaikošanas plānās plēves sistēma ir izstrādāta blīvu, stipri pielipušo metāla, sakausējuma un keramikas savienojumu pārklājumu lielai{0}}nogulsnēšanai. Darbojoties ar...Skatīt vairāk -
![Loka iztvaikošanas PVD iekārtas]()
Loka iztvaikošanas PVD iekārtasRūpnieciskā katoda loka iztvaikošanas PVD sistēma izmanto zema-sprieguma, lielas-strāvas elektriskos lokus, lai iztvaicētu cieta katoda mērķus vakuuma vidē. Šis mehānisms sasniedz metāla...Skatīt vairāk -
![Vakuuma loka plānās plēves sistēma]()
Vakuuma loka plānās plēves sistēmaRūpnieciskā vakuuma loka plānās plēves sistēma izmanto katoda loka iztvaikošanu, lai uzklātu blīvas, ļoti lipīgas metāla, sakausējuma un keramikas plānās kārtiņas. Augstas-strāvas, zema...Skatīt vairāk -
![Katoda loka plānās plēves aprīkojums]()
Katoda loka plānās plēves aprīkojumsFizikāla tvaiku pārklāšanas (PVD) sistēma, kas izmanto lokalizētus zema{0}}sprieguma, lielas-strāvas elektriskos lokus, lai iztvaicētu cietā katoda mērķus pilnībā jonizētā plazmā. Augstais...Skatīt vairāk -
![Loka iztvaikošanas pārklājuma iekārtas]()
Loka iztvaikošanas pārklājuma iekārtasRūpnieciskās fiziskās tvaiku pārklāšanas (PVD) platforma, kas izstrādāta blīvu, nodilumizturīgu-un funkcionālu cietu pārklājumu ātrai{0}}sintēzei. Augstas -strāvas, zema sprieguma- katoda loka...Skatīt vairāk -
![Loka iztvaikošanas plāns plēves aprīkojums]()
Loka iztvaikošanas plāns plēves aprīkojumsŠī katoda loka iztvaicēšanas sistēma iztvaiko cietā katoda mērķus, izmantojot zemu{0}}spriegumu, lielu-strāvu elektrisko loku, lai radītu pilnībā jonizētu metāla plazmu. Salīdzinot ar standarta...Skatīt vairāk
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikāciju diapazons / standarta konfigurācija |
|
Kameras izmēri |
Diametrs: 800 mm - 1800 mm (pielāgojami vertikāli/horizontāli izkārtojumi) |
|
Kameras materiāls |
Dubultsienu-nerūsējošais tērauds SUS304 ar iekšējiem ūdens-dzesēšanas kanāliem |
|
Maksimālais vakuuma spiediens |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Katoda konfigurācija |
4 līdz 12 taisnstūra/apaļas loka avoti ar elektromagnētisko vadību |
|
Loka barošanas avots |
300A - 500Regulējama pastāvīga strāva, pulsācija<= 2% |
|
Substrāta novirzes jauda |
No 0 līdz -1000 V regulējama, impulsa novirzes frekvence 10 kHz - 100 kHz |
|
Apkures sistēma |
Starojuma sildītāju bloks, maksimālā temperatūra 600 grādi +/- 5 grādu vienmērīgums |
|
Sagataves rotācija |
Planētu vai divu{0}}asu rotācija, ko virza magnētiskā šķidruma padeve |
|
Vadības sistēma |
PLC + rūpnieciskais dators, ar receptēm{1}}vadāma automatizēta secības vadība |
|
Lietderības prasības |
Dzesēšanas ūdens: 0,25-0,35 MPa, 20-25 grādi ; Jauda: 380V/480V, 3-fāzu, 50/60 Hz |
Loka iztvaikošanas process
Uzklāšanas cikls darbojas stingrā procesuālā kontrolē, lai garantētu plēves integritāti un saskarnes adhēziju:
Evakuācija un izvadīšana no gāzes:
Vakuuma kamera tiek sūknēta līdz bāzes spiedienam. Substrāti tiek karsēti vakuumā, lai novērstu virsmas gaistošus un atlikušo mitrumu.
01
Plazmas kodināšana (tīrīšana):
Metāla jonu bombardēšana (izmantojot titāna vai hroma mērķa avotus) attīra substrāta virsmu atomu līmenī, noņemot dabiskos oksīdus un aktivizējot saskarni.
02
Reaktīvā nogulsnēšanās:
Reaktīvās gāzes (N2, CH4, O2) tiek ievadītas kamerā caur masas plūsmas regulatoriem (MFC), lai reaģētu ar metāla plazmas plūsmu (piemēram, Ti, Cr, AlTi), veidojot saliktas plēves, piemēram, TiN, TiAlN vai CrN.
03
Dzesēšana un ventilācija:
Pēc-nogulsnēšanas dzesēšana notiek aizsargājošā inertās gāzes atmosfērā pirms kameras ventilācijas un daļu izņemšanas.
04
Atbalstītie katoda mērķi
Titāns (Ti) un titāna alumīnijs (TiAl):Pamatmateriāli standarta TiN un augstas{0}}oksidācijas-izturības TiAlN pārklājumiem (iztur oksidāciju līdz 900 grādiem).
Hroms (Cr):Izmanto dekoratīvai apdarei un{0}}korozijizturīgiem CrN/CrC slāņiem.
Cirkonijs (Zr) un titāna silīcijs (TiSi):Piemērots specializētām dekoratīvām un ārkārtīgi nodilumizturīgām -nanokompozītu plēvēm.
Saderīgi substrāta materiāli
Ātrgaitas{0}}tērauds (HSS):Twist urbji, gala frēzes, plīts virsmas un atstarpes.
Cementēti karbīdi (WC-Co):Indeksējami ieliktņi, rīvējumi un formēšanas presformas.
Inženiertehniskie tēraudi un sakausējumi:Automobiļu vārstu sastāvdaļas, zobrati, nerūsējošā tērauda sanitārā aparatūra un titāna medicīniskie implanti.
Lietojumprogrammu un veiktspējas ietekme
Metāla griešanas instrumenti:
TiAlN un AlCrN pārklājumu uzklāšana uz karbīda ieliktņiem un gala frēzēm, pagarinot instrumenta kalpošanas laiku par 200% līdz 300% un nodrošinot sausu ātrgaitas apstrādi.
Formēšanas un štancēšanas presformas:
Blīvu, zemu{0}}berzes pārklājumu uzklāšana, lai dziļās vilkšanas laikā samazinātu līmes nodilumu, saspiešanu un sagataves pielipšanu, samazinot dīkstāves laiku līdz pat 40%.
Automobiļu spēka piedziņa:
Virzuļu gredzenu, degvielas iesmidzināšanas tapu un krānu apstrāde, lai samazinātu robežberzes koeficientu līdz < 0,15 un novērstu berzes nodilumu.
Rūpnieciskās aparatūras un sanitārais jaucējkrāns:
Cietie dekoratīvie PVD slāņi (TiN zelts, rozā zelts, melnais cirkonijs), kas iztur vismaz 500 stundu neitrāla sāls izsmidzināšanas testu (ASTM B117).
Pielāgošana un procesa konfigurācija
Iekārtu izkārtojumi tiek mērogoti atbilstoši ražošanas apjomam, detaļu ģeometrijai un rūpnīcas nospiedumam:
Kameras ģeometrija:
Vertikālas iekraušanas konstrukcijas smagajiem instrumentiem; horizontālas partijas konfigurācijas lielas ietilpības{0}}armatūras ielādei.
Avota integrācija:
Hibrīdas konfigurācijas, kas apvieno katoda loka avotus ar nelīdzsvarotiem magnetronu izsmidzināšanas (RMS) katodiem, lai nogulsnētu gludas,{0}}pilienu nesaturošas daudzslāņu arhitektūras.
Filtrēšanas sistēmas:
Izvēles magnētiskie makrodaļiņu filtri (vadāmie loka filtri), kas uzstādīti uz katoda kanāliem, lai novērstu makro{0}}pilienu veidošanos optiskiem vai īpaši{1}}gludiem precīziem funkcionāliem pārklājumiem.
Automatizācijas interfeiss:
Integrācija-gatava robotizētām iekraušanas svirām un automatizētai vadīto transportlīdzekļu (AGV) partiju pielāgošanai.
Strukturālā integritāte:Kameras korpusiem tiek veikta hēlija masas spektrometra noplūdes pārbaude ar jutības slieksni<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektriskā drošība un atbilstība:Izgatavots stingri saskaņā ar CE un IEC elektriskās drošības vadlīnijām, ietver pilnīgu izolācijas pārbaudi un avārijas drošības bloķēšanu.
Funkcionālā palaišana{0}}(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) ir pārbaudīti standarta testa kuponos pirms nosūtīšanas.
Uzstādīšana un tehniskais atbalsts
Vietnes sagatavošanas pakete:
Visaptveroši komunālo pakalpojumu izkārtojuma rasējumi, kuros sīki aprakstīti dzesēšanas ūdens plūsmas ātrumi, nosūces ventilācija, grīdas slodze un elektriskās krituma specifikācijas, tika nodrošināti 4 nedēļas pēc līguma noslēgšanas.
Uz-Nodošana ekspluatācijā:
Rūpnīcas-sertificēti procesu inženieri klienta iestādē veic mehānisko izlīdzināšanu, vakuuma noplūžu noteikšanu, elektrisko integrāciju un sākotnējo pamatrecepšu iestatīšanu.
Procesa receptes pārsūtīšana:
Piegāde ietver standarta bāzes receptes (TiN, TiAlN, CrN) un darbības apmācību iekšējām apkopes un inženieru komandām.
Attālās diagnostikas atbalsts:
Sistēmas, kas aprīkotas ar drošām rūpniecisko maršrutētāju vārtejām attālinātai parametru traucējummeklēšanai un PLC loģikai diagnostikai.
FAQ
Mēs esam labi{0}}pazīstami kā viens no vadošajiem loka iztvaikošanas plānās kārtiņas iekārtu ražotājiem un piegādātājiem Ķīnā. Ja plānojat iegādāties pielāgotu loka iztvaikošanas plānās plēves aprīkojumu, kas ražots Ķīnā, laipni lūdzam saņemt mūsu rūpnīcas cenu sarakstu. Par cenu konsultāciju sazinieties ar mums.
