Produkta pārskats
Rūpnieciskas daudzloka jonu pārklāšanas iekārtas, kas izstrādātas cietu pārklājumu, funkcionālu plēvju un dekoratīvu PVD apdari uzklāšanai uz precīziem komponentiem. Izmantojot augstas -strāvas, zema sprieguma-vakuuma loka izlādi, sistēma tieši iztvaiko cietos mērķa materiālus (Ti, Cr, Al, Zr). Savienojumā ar reaktīvām gāzēm (N2, O2, C2H2) tas sintezē blīvus pārejas metālu nitrīdus, karbīdus un oksīdus tieši uz metāla substrātiem.
Šis pabeigtais PVD risinājums, kas izveidots uz modulāras vakuuma kameras arhitektūras, nodrošina dažādus ražošanas apjomus,{0}}no R&D pakešu apstrādes līdz automatizētai augstas caurlaidspējas{1}}inline ražošanai. Sistēma ir optimizēta augstai mērķa izmantošanai un zemām kopējām īpašuma izmaksām (TCO) nepārtrauktā 24/7 rūpnieciskā vidē.
-
![Vairāku -loku vakuuma uzklāšanas aprīkojums]()
Vairāku -loku vakuuma uzklāšanas aprīkojumsŠajā vairāku -loku vakuuma pārklājuma sistēmā tiek izmantota katoda loka jonu pārklājuma tehnoloģija, lai uz metāla un nemetāliskām pamatnēm uzklātu blīvus, ar augstu-adhēziju saistītus...Skatīt vairāk -
![Vairāku-loka jonu uzklāšanas sistēma]()
Vairāku-loka jonu uzklāšanas sistēmaThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Cietā katoda materiāla 80%...Skatīt vairāk -
![Daudzpusīgas -loka PVD plānās plēves iekārtas]()
Daudzpusīgas -loka PVD plānās plēves iekārtasRūpnieciskajā daudzloku -loka PVD sistēmā tiek izmantota augstas-jonizācijas katoda loka fiziska tvaiku pārklāšana, lai uz metāla pamatnēm uzklātu blīvus, stehiometriskus cietus pārklājumus...Skatīt vairāk -
![Vairāku-loka jonu uzklāšanas iekārtas]()
Vairāku-loka jonu uzklāšanas iekārtasIndustriālā vairāku -loka jonu uzklāšanas sistēma ģenerē blīvas, augstas{1}}adhēzijas plānas kārtiņas, izmantojot augstas-strāvas, zema sprieguma{3}}katodiskā loka iztvaikošanu. Cietie mērķa...Skatīt vairāk -
![Vairāku-loka jonu plānās plēves sistēma]()
Vairāku-loka jonu plānās plēves sistēmaIndustriālajā daudz{0}}loka jonu plānās plēves sistēmā tiek izmantota katoda loka iztvaikošana, lai uz metāla un sakausējuma pamatnēm uzklātu blīvus, augstas -adhēzijas keramikas un metāliskus...Skatīt vairāk -
![Daudzpusīgas -loka jonu plānās plēves iekārtas]()
Daudzpusīgas -loka jonu plānās plēves iekārtasŠī daudzloka jonu pārklājuma sistēma izmanto katoda loka iztvaikošanu, lai uzklātu blīvus, augstas{1}}adhēzijas cietos pārklājumus un funkcionālas plānas kārtiņas. Izsitot augstas-strāvas, zema...Skatīt vairāk
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikāciju diapazons |
Mērvienība / Piezīme |
|
Kameras izmēri |
600 x 600 līdz 1500 x 1800 |
mm (pielāgotas vertikālas vai horizontālas konfigurācijas) |
|
Maksimālais vakuuma spiediens |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (sausais sūknis + turbo-molekulārais/eļļas difūzijas komplekts) |
|
Katoda loka avoti |
4 līdz 16 vienības |
Elektromagnētiski vadāmi vai filtrēti loka avoti (FCA) |
|
Substrāta novirzes jauda |
No 0 līdz -1000 |
V (uzlabotas impulsa līdzstrāvas/MF nobīdes iespējas) |
|
Apkures temperatūra |
Telpas temperatūra līdz 600 |
C (PID kontrolēti starojuma sildītāji) |
|
Nogulsnēšanās vienveidība |
<= +/- 5% |
Mērīts, izmantojot XRF visā efektīvajā darba zonā |
|
Vadības sistēma |
PLC + rūpnieciskais dators |
Automatizēta receptes izpilde, SCADA datu reģistrēšana |
|
Drošība un atbilstība |
CE, ISO 9001 |
UL-saderīgi elektriskie korpusi ir pieejami pēc pieprasījuma |
Fiziskā tvaiku pārklāšanas secība darbojas, izmantojot stingru, slēgtu-ciklu automatizētu darbplūsmu, lai nodrošinātu pakešu-uz-pakešu atkārtojamību:
Evakuācija un izvadīšana no gāzes:
Vakuuma kamera tiek sūknēta līdz bāzes spiedienam<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Plazmas kodināšana (bombardēšana):
Tiek ieviesta argona gāze. Substrāta turētājam tiek uzlikts liels negatīvs nobīde, radot Ar jonus, kas bombardē virsmu, lai izsmidzinātu dabiskos oksīdus un mikro{1}}piesārņotājus.
Loka iztvaikošana un jonizācija:
Līdzstrāvas loka strāva iedarbojas uz cieto metāla katodu. Vietējais katoda punkts sasniedz ārkārtēju enerģijas blīvumu, uzreiz iztvaicējot mērķa materiālu augsta blīvuma plazmas plūsmā (jonizācijas ātrums > 80%).
Reaktīvā nogulsnēšanās:
Reaktīvās gāzes tiek ievadītas plazmas plūsmā ar precīzi kontrolētu daļēju spiedienu, izmantojot masas plūsmas kontrolierus (MFC), veidojot stehiometriskas savienojumu plēves uz rotējošiem substrātiem.
Dzesēšana un ventilācija:
Kontrolēta dzesēšana notiek zem inertās gāzes aizsardzībā pirms kameras ventilācijas, novēršot tikko pārklāto detaļu oksidēšanos.
Plēves materiāli un pārklājuma īpašības
Sistēma atbalsta vairāku-metāla katodu izkārtojumus, kas nodrošina monoslāņu, daudzslāņu, nano-kompozītu un gradienta plēvju arhitektūras:
TiN (titāna nitrīds):
Standarta zelta pārklājums; cietība 2200–2400 HV; berzes koeficients 0,4. Primārā izmantošana: vispārīgi griezējinstrumenti un mehāniskās dilstošās daļas.
TiAlN (titāna alumīnija nitrīds):
Augsta -temperatūras oksidācijas izturība līdz 850 C; cietība 3000–3300 HV. Galvenā izmantošana: ātrgaitas sausās apstrādes ieliktņi un dzinēja vārsti.
CrN / CrAlN (hroma nitrīds):
Lieliska izturība pret koroziju un zems iekšējais spriegums; pret-saķeršanās īpašības pret krāsainajiem metāliem. Primārā izmantošana: formēšanas veidnes, virzuļu gredzeni un tekstilmašīnu sastāvdaļas.
ZrN/TiCN:
Zems virsmas raupjums (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Lietojumprogrammas
Precīzijas griešanas instrumenti:
Gala frēzes, urbji, plīts virsmas un indeksējamie ieliktņi, kam nepieciešams pagarināts instrumenta kalpošanas laiks augstās termiskās slodzes apstākļos.
01
Automobiļu spēka piedziņa:
Virzuļa tapas, tapetes, degvielas iesmidzināšanas komponenti un zobratu virsmas, kurām nepieciešama samazināta robežberze un berzes pretestība.
02
Veidnes un presformas:
Plastmasas iesmidzināšanas veidnes, štancēšanas presformas un pres{0}}liešanas ieliktņi, kam nepieciešama izturība pret līmes nodilumu un termisko nogurumu.
03
Aviācijas un kosmosa sastāvdaļas:
Turbīnu lāpstiņas un titāna stiprinājumi, kas darbojas agresīvā korozīvā un augsta{0}}sprieguma vidē.
04
Pielāgošana un sistēmas konfigurācija
Standarta kataloga preces reti atbilst īpašiem rūpnīcas izkārtojumiem. Iekārtu konfigurācijas ir pielāgotas, pamatojoties uz konkrētu komponentu ģeometriju, cikla laika mērķiem un iekārtu ierobežojumiem:
Kameras ģeometrija:
Astoņstūra vai cilindriskas nerūsējošā tērauda kameras (SUS304/SUS316L) ar dubultām -ūdens-sienu dzesēšanas apvalkiem.
Avota izkārtojums:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Pamatnes stiprināšana:
Planētu rotācijas (3-ass) vai vienas rotācijas mehānismi, ko darbina magnētiskā šķidruma padeve, lai garantētu vienmērīgu pārklājuma pārklājumu sarežģītās 3D ģeometrijās.
Sūknēšanas skursteņa iespējas:
Sakņu pūtēji, rotācijas lāpstiņu sūkņi, kriogēnie sūkņi vai turbomolekulārie sūkņi, kas konfigurēti tā, lai tie atbilstu stingriem sūkņu-nolaišanas cikla laikiem.
Kvalitātes kontroles un testēšanas protokoli
Katrai mašīnai pirms nosūtīšanas tiek veikta stingra rūpnīcas pieņemšanas pārbaude (FAT), kas dokumentēta pircēja pārskatīšanai:
01
Vakuuma integritātes pārbaude:
Hēlija noplūdes noteikšana, izmantojot masas spektrometriju (noplūdes ātrums<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Elektriskā drošība un sadedzināšana{0}}:
72 stundu nepārtraukta barošanas bloku, ūdens dzesēšanas bloķētāju un PLC automatizācijas loģikas darbība.
03
Pārklājuma verifikācija (iekšējā laboratorija-):
Paraugu testēšana veikta, izmantojot Calo-testu (plēves biezums), Rokvela ievilkumu (saķeres stiprība) un nanoievilkumu (cietība).
Uzstādīšana, nodošana ekspluatācijā un tehniskais atbalsts
Vietnes sagatavošanas vadlīnijas:
Detalizēti inženierkomunikāciju izkārtojuma rasējumi, kas paredzēti dzesēšanas ūdens plūsmas/spiediena, saspiestā gaisa, izplūdes ventilācijas un elektrisko kopņu prasībām.
SAT un nodošana ekspluatācijā:
Uzstādīšana uz-vietnes (vietnes pieņemšanas pārbaude), vakuuma kalibrēšana un sākotnējās receptes nodošana, ko veic vecākie PVD procesa inženieri.
Procesa apmācība:
Praktiskas -operatoru apmācības, kas aptver katoda nomaiņas grafikus, profilaktisko vakuuma apkopi, problēmu novēršanu un pamata receptūru optimizāciju.
Rezerves daļu atbalsts:
Kritiski nodiluma komponenti (katodi, vairogi, izolatori un blīvslēgi), kas tiek uzglabāti globālai nosūtīšanai 48 stundu laikā.
Bieži uzdotie jautājumi
Mēs esam labi{0}}pazīstami kā viens no vadošajiem loka jonu plānās plēves iekārtu ražotājiem un piegādātājiem Ķīnā. Ja plānojat iegādāties pielāgotu daudzu -loka jonu plānās plēves aprīkojumu, kas ražots Ķīnā, laipni lūdzam saņemt mūsu rūpnīcas cenu sarakstu. Par cenu konsultāciju sazinieties ar mums.
