Rūpnieciskajā daudzloku -loka PVD sistēmā tiek izmantota augstas-jonizācijas katoda loka fiziska tvaiku pārklāšana, lai uz metāla pamatnēm uzklātu blīvus, stehiometriskus cietus pārklājumus (piemēram, TiN, TiAlN, CrN un DLC). Šī sistēma, kas izstrādāta liela apjoma-pārklāšanas centriem un slēgtām ražošanas līnijām, optimizē precizitātes komponentu nodilumizturību, berzes samazināšanu un termisko stabilitāti.
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikāciju diapazons |
|
Kameras izmēri |
Pielāgotas konfigurācijas (Dia{0}} x 1000 mm līdz Dia. 1500 x 1500 mm, 304/316 L nerūsējošais tērauds) |
|
Maksimālais vakuuma spiediens |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo Molecular & Roots Pump configuration) |
|
Darba vakuuma spiediens |
0,1 līdz 3,0 Pa (vadāms, izmantojot digitālos MFC) |
|
Katoda barošanas avots |
Līdzstrāvas loks: 100 A - 200 A; Impulsu nobīde: regulējama no 0 līdz -1000 V |
|
Pamatnes stiprinājuma rotācija |
Planētu rotācija, 0 - 10 apgr./min., kravnesība līdz 500 kg |
|
Apkures sistēma |
Nerūsējošā tērauda starojuma sildītāji, maksimālā temperatūra 600 °C (viendabīgums +/- 5 °C) |
|
Procesa kontrole |
PLC + rūpnieciskais dators, automatizēta recepšu izpilde, reāllaika datu reģistrēšana- |
|
Lietderības prasības |
Dzesēšanas ūdens: 0.2 - 0.3 MPa, 25 °C; Jauda: 380V, 3-fāzu, 50/60Hz |
Galvenās iezīmes
Filtrētie katoda loka avoti:Magnētiskā filtrēšana samazina makrodaļiņu (pilienu) veidošanos, nodrošinot vienmērīgāku virsmas apdari (Ra < 0,1 um).
Slēgta{0}}lauka nelīdzsvarota magnetrona konfigurācija: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.
Divkāršs{0}}gāzes plūsmas regulējums:Slēgta{0}}cikla atgriezeniskās saites kontrole, izmantojot kapacitātes manometrus un augstas-precizitātes MFC reaktīvām gāzēm (N2, C2H2, O2).
Moduļu nogulsnēšanās avoti:Maināmi plakani un cilindriski izkārtojumi nodrošina ātru mērķa maiņu daudzslāņu arhitektūrām.
Vakuuma sistēmas konfigurācija
Rupjmašīnas sūknis:Rotācijas lāpstiņa vai sausa skrūve mehāniskā pamatne, lai novērstu eļļas pretplūsmu.
Augsta vakuuma sūknis: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) pārī ar sakņu pūtēju.
Blīvējums un vārsti:Pneimatiskie aizbīdņi, ISO-F/CF atloki ar Viton/metāla blīvēm; hēlija masas spektrometra noplūdes ātrums < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Spiediena monitorings:Kombinētie Pirani un aukstā katoda jonizācijas mērītāji.
Iztvaikošanas materiālu un substrāta saderība
Standarta katoda mērķi:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).
Pamatnes materiāli:Cementēti karbīdi (WC-Co), HSS, leģētie tēraudi (SKD11, 40Cr), titāna sakausējumi (Ti-6Al-4V) un nerūsējošais tērauds (304, 316L).
Iepriekšēja-ārstēšana:Nepieciešama ultraskaņas attaukošana un in-argona plazmas jonu kodināšana (Ar+ bombardēšana), lai pirms nogulsnēšanas likvidētu virsmas oksīdus.
Lietojumprogrammas
Griešanas un formēšanas instrumenti:Gala frēzes, griešanas griezēji un ieliktņi ir pārklāti ar TiAlN/TiN, lai pagarinātu instrumenta kalpošanas laiku par 200% - 400% sausajā apstrādē.
Automobiļu sastāvdaļas:Virzuļa gredzeni, inžektora tapas un krāni ir pārklāti ar CrN/DLC, lai samazinātu robežberzi un berzi.
Medicīniskās ierīces:Ortopēdiskās skrūves, ķirurģiskie asmeņi un zobārstniecības abatmenti, kas izmanto TiN/ZrN, lai nodrošinātu bioloģisko saderību un izturību pret koroziju.
Rūpnieciskā aparatūra:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).
Pielāgošana
Kameras izmēri:Pielāgoti iekšējie diametri un augstuma profili, kas pielāgoti konkrētiem partijas apjomiem vai lielizmēra sagatavēm.
Katoda izkārtojums:4 līdz 12 konfigurējami loka avota sloti, kas novietoti simetriski, lai nodrošinātu biezuma sadalījumu +/- 8% robežās.
Neobjektivitātes integrācija:Izvēles lielas{0}}jaudas impulsu magnetronu izsmidzināšanas (HPPMS) hibrīda integrācija kopā ar standarta katoda loka avotiem.
Automatizācija:Integrācija ar automatizētām iekraušanas svirām un SCADA ražošanas izpildes sistēmām.
Kvalitātes kontrole
Materiāla pārbaude:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).
Strukturālā pārbaude:CMM kameru izmēru pārbaude un dzesēšanas kanālu hidrostatiskā spiediena pārbaude.
Rūpnīcas pieņemšanas pārbaude (FAT):72-stundu nepārtrauktas sausās darbības-tests, kas aptver mehānisko rotāciju, izsūknēšanas līknes un termisko stabilitāti.
Pārklājuma pārbaude:Testa kuponi novērtēti, izmantojot pin{0}}uz-diska nodiluma pārbaudi, Rokvela ievilkumu un šķērsgriezuma FESEM biezuma analīzi-.
Uzstādīšana un tehniskais atbalsts
Vietnes sagatavošana:Detalizēta inženiertehniskā dokumentācija grīdas slodzes ierobežojumiem, dzesēšanas ūdens plūsmas ātrumiem un elektriskās kopnes prasībām.
Nodošana ekspluatācijā:Uzstādīšana-uz vietas, vakuuma kalibrēšana un pamata procesa receptes nodošana, ko veic lauka inženieri.
Operatoru apmācība:Strukturētas programmas, kas aptver kārtējo apkopi, mērķa nomaiņu, noplūžu meklēšanu un pamata PLC problēmu novēršanu.
Dzīves cikla atbalsts:Attālās diagnostikas saskarnes integrācija{0}}reāllaika parametru reģistrēšanai un ātrai kļūdu izolēšanai.
FAQ
J: Kāds ir tipiskais katoda mērķa izmantošanas līmenis?
A: Planar loka katodi parasti sasniedz 45% līdz 60% izmantošanu atkarībā no magnētiskās erozijas profila.
J: Kā sistēma mazina makrodaļiņas?
A: Vadības magnētiskie lauki un izvēles filtrētā katoda loka (FCVA) kanāli notver nejonizētas makrodaļiņas, pirms tās sasniedz substrātu.
J: Kāds ir vidējais procesa cikla laiks?
A: Standarta TiAlN uzklāšana aizņem 3 - 4 stundas, ietverot 3 - 5 um plēves sūknēšanas-nolaišanu, sildīšanu, kodināšanu, nogulsnēšanu un dzesēšanu.
J: Vai kamerā ir nepieciešami papildu sildītāji?
A: Jā. Starojuma sildītāju bloki uzsilda substrātus līdz 350 °C - 550 °C, lai atbrīvotu mitrumu un nodrošinātu pārklājuma saķeri.
Populāri tagi: multi-arc pvd plānās plēves aprīkojums, Ķīna multi-arc pvd plānās plēves iekārtu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
