Produkta pārskats
IAE-Sērijas jonu-plānās plēves iztvaikošanas palīgierīces apvieno fizikālo tvaiku pārklāšanu (PVD) ar reāllaika -jonu staru bombardēšanu. Virzot enerģētiskos jonus uz substrātu termiskās vai elektronu -staru iztvaikošanas laikā, sistēma pārnes impulsu uz kondensējošiem adatomiem, pārstrukturējot augošās plēves mikrostruktūru.
Šī kinētiskā enerģijas pārnešana novērš kolonnu tukšumus, nomāc mitruma uzsūkšanos un bloķē refrakcijas indeksu pret apkārtējā mitruma izmaiņām. Platforma ir izstrādāta nepārtrauktai vairāku maiņu darbībai optisko un pusvadītāju ražošanas līnijās, un tā apstrādā substrātus, sākot no augstas-precizitātes lāzeroptikas līdz silīcija plāksnēm.
-
![Jonu{0}}vakuuma iztvaicēšanas aprīkojums]()
Jonu{0}}vakuuma iztvaicēšanas aprīkojumsJonu-vakuuma iztvaikošanas sistēma integrē augsta-vakuuma termiskās vai elektronu{2}}staru iztvaikošanas avotus ar Kaufman-tipa vai End-Hall jonu avotu. Bombardējot augošo plēvi ar jonizētu gāzi...Skatīt vairāk -
![Sistēma ar jonu-plānās kārtiņas uzklāšanu]()
Sistēma ar jonu-plānās kārtiņas uzklāšanuJonu-plānās plēves nogulsnēšanas sistēma integrē daudz-kabatas elektronu-staru/termisko iztvaikošanu ar augstas veiktspējas gala-Hall vai Kaufman-tipa jonu avotu. Fizikālās tvaiku pārklāšanas...Skatīt vairāk -
![Iztvaicēšanas aprīkojums ar jonu staru palīdzību]()
Iztvaicēšanas aprīkojums ar jonu staru palīdzībuIBAE sistēma apvieno elektronu -staru vai termisko iztvaikošanu ar integrētu plata -staru jonu avotu. Vienlaicīga jonu bombardēšana plēves augšanas laikā nodod kinētisko enerģiju kondensējošiem...Skatīt vairāk -
![Jonu{0}}plānās kārtiņas uzklāšanas aprīkojums]()
Jonu{0}}plānās kārtiņas uzklāšanas aprīkojumsIA-Sērijas jonu-plānās kārtiņas uzklāšanas iekārta integrē elektronu-staru termisko iztvaikošanu ar Kaufmana vai End-Hall jonu avotu. Enerģētiskā jonu bombardēšana (argona/skābekļa maisījums)...Skatīt vairāk -
![Plānās plēves sistēma ar jonu-iztvaikošanas palīdzību]()
Plānās plēves sistēma ar jonu-iztvaikošanas palīdzībuJonu -iztvaikošanas (IAE) plānās plēves sistēma apvieno fizikālo tvaiku pārklāšanu (PVD) ar enerģētisko jonu staru bombardēšanu. Termiskās vai elektronu -staru iztvaikošanas laikā papildu Kaufmana...Skatīt vairāk -
![Plānās plēves aprīkojums ar jonu-iztvaicēšanas palīdzību]()
Plānās plēves aprīkojums ar jonu-iztvaicēšanas palīdzībuRūpnieciskās -pakāpes jonu-iztvaikošanas (IAE) sistēma, kas integrē vairāku-kabatas elektronu-staru iztvaikošanu ar enerģētiskā jonu stara avotu (beigu-Hall vai Kaufman konfigurācija). Reālā laika...Skatīt vairāk
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikācija |
|
Galīgais bāzes spiediens |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Iztvaikošanas avoti |
Daudz-kabatas E-staru pistole (4 × 15 cc līdz 40 cc) un pretestības siltuma avoti |
|
Jonu avota veids |
Bezrežģa gala-Hall/Kaufman-tipa jonu avots (stara spriegums: 50–1500 V, jonu strāva: 0,1–3 A) |
|
Plēves biezuma kontrole |
Kvarca kristāla mikrobalanss (QCM) + optiskā uzraudzības sistēma (OMS), precizitāte ± 0,1 nm |
|
Pamatnes nostiprināšana |
Planētu rotācijas armatūra, kupola rādiuss pielāgots substrāta ģeometrijai |
|
Pamatnes apkure |
Starojuma sildītāju bloks, līdz 350 grādiem ar ± 2 grādu PID vienmērīgumu |
|
Vadības arhitektūra |
PLC + Industrial PC, automatizēta receptes izpilde, SECS/GEM saderīga datu reģistrēšana |
Jonu{0}}atbalstīts uzklāšanas process
Tvaika ģenerēšana:
Materiāls tiek iztvaicēts no e-staru tīģeļa vai termiskās laivas ar kontrolētu nogulsnēšanās ātrumu (0,1–2,0 nm/s).
01
Momentum Transfer:
Enerģētiskie joni (Ar⁺, O⁺) bombardē substrāta virsmu vienlaikus ar tvaika plūsmu, kas ieplūst no E -staru vai termiskā avota.
02
Mikrostruktūras modifikācija:
Jonu trieciens uzlabo adatoma virsmas mobilitāti, novēršot kolonnu graudu augšanu un sasniedzot gandrīz -tilpuma blīvumu (iepakojuma blīvums > 99%).
03
Stehiometrijas korekcija:
Reaktīvā jonu palīdzība (O₂) nodrošina pilnīgu sub-oksīdu oksidēšanu metāla oksīda plēvēs (piemēram, Ta₂O5, Nb₂O5, SiO₂), novēršot absorbcijas joslas UV-NIR spektrā.
04
Filmu materiāli
Oksīdi:
SiO₂, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2 (augsta refrakcijas indeksa stabilitāte optiskajiem filtriem).
Fluorīdi:
MgF₂, LaF₃ (zema refrakcijas indeksa slāņi platjoslas AR pārklājumiem).
Metāli:
Al, Ag, Au, Ti (Adhēzijas slāņi un metāliski atstarotāji).
Lietojumprogrammas
Lāzera un precīzā optika:
Joslas caurlaides filtri, dihromiski spoguļi un lāzera aizsargpārklājumi, kam nepieciešams augsts lāzera -inducēta bojājuma slieksnis (LIDT) un nulles spektrālā nobīde termiskā stresa apstākļos.
LiDAR pārklājuma stikls:
Izturīgas pret-atstarojošas (AR) un pret-netīrības plānas plēves, kas izturīgas pret skarbiem āra laikapstākļiem.
Pusvadītāju iepakojums:
Mitruma-barjeras iekapsulēšanas slāņi un metāla kontaktu spilventiņi, kas nogulsnēti zemā substrāta temperatūrā.
Biomedicīnas sensori:
Bioloģiski saderīgi optiskie traucējumu pārklājumi diagnostikas mikrofluidiskām mikroshēmām.
Pielāgošana
Kameras un iekšējie izkārtojumi ir izstrādāti atbilstoši īpašām ražošanas nospiedumiem un procesa prasībām:
Kameras izmēri:
Mērogojams no R=600 mm R&D vienībām līdz R=1200 mm augstas-jaudas ražošanas sistēmām.
Sūknēšanas komplekti:
Konfigurējams ar Maglev turbomolekulāriem sūkņiem, kriosūkņiem un Roots ventilatora atbalsta līnijām, pamatojoties uz gāzes slodzes prasībām.
Avota integrācija:
Divu-jonu avotu konfigurācijas vai kop-uzklāšanas iestatījumi sarežģītu sakausējumu un daudzslāņu gradienta plēvēm.
Automatizācijas līmenis:
Integrācija ar automatizētām tīras telpas substrāta pārneses sistēmām (EFEM / Vacuum cluster instrumenti).
Kvalitātes kontrole
Noplūdes noteikšana:
Katrai vakuuma kamerai tiek veikta hēlija noplūde{0}}pārbaude, izmantojot masas spektrometru (noplūdes ātrums < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Komponentu izsekojamība:
Vakuuma vārsti, masas plūsmas regulatori (MFC) un barošanas avoti, kas iegūti no kvalificētiem Tier-1 rūpnieciskajiem zīmoliem (MKS, Inficon, PVN).
Rūpnīcas pieņemšanas pārbaude (FAT):
Pirms nosūtīšanas veiciet-testus, pārbaudot bāzes spiedienu, sūknēšanas līkni, avota stabilitāti un 24-stundu nepārtrauktu tukšuma kameras izturību.
Metroloģijas apstiprināšana:
Paraugu gājieni pārbaudīti ar spektrofotometru (caurlaidība/atstarošanās) un atomu spēka mikroskopiju (virsmas raupjums Ra < 0,5 nm).
Uzstādīšana un tehniskais atbalsts
Vietnes sagatavošanas rokasgrāmata:
Visaptverošas komunālo pakalpojumu prasības, kas nodrošinātas pirms piegādes (dzesēšanas ūdens plūsma/spiediens, tīras telpas saspiests gaiss, elektroenerģijas sadale, izplūdes ventilācija).
Pabeigta nodošana ekspluatācijā:
Uz vietas servisa inženieri veic mehānisko montāžu, vakuuma cepšanu-, jonu staru kalibrēšanu un sākotnējā procesa receptes parakstīšanu-uz-uz vietas.
Operatoru apmācība:
Strukturētas praktiskas{0}}apmācības par ikdienas apkopi, vakuuma drošību, programmatūras darbību un problēmu novēršanu.
Dzīves cikla atbalsts:
Attālās diagnostikas interfeiss ātrai programmatūras problēmu novēršanai; reģionālais kritiskā nolietojuma priekšmetu (pavedieni, tīģeļi, vairogi) krājumi, kas nosūtīti 48 stundu laikā.
FAQ
Mēs esam labi-pazīstami kā viens no vadošajiem jonu-iztvaikošanas plānās kārtiņas iekārtu ražotājiem un piegādātājiem Ķīnā. Ja plānojat iegādāties pielāgotu jonu-plānās plēves aprīkojumu, kas ražots Ķīnā, laipni lūdzam saņemt mūsu rūpnīcas cenu sarakstu. Par cenu konsultāciju sazinieties ar mums.
