Jonu{0}}plānās kārtiņas uzklāšanas aprīkojums

IA-Sērijas jonu-plānās kārtiņas uzklāšanas iekārta integrē elektronu-staru termisko iztvaikošanu ar Kaufmana vai End-Hall jonu avotu. Enerģētiskā jonu bombardēšana (argona/skābekļa maisījums) nogulsnēšanās laikā pārnes impulsu uz adatomiem, novēršot kolonnu tukšumus, nomācot mitruma uzsūkšanos un stabilizējot refrakcijas rādītājus. Paredzēta augstas-precizitātes pētniecībai un attīstībai un nepārtrauktai ražošanai, nerūsējošā-tērauda kamera uztur bāzes spiedienu zem 5 x 10^-6 Pa, lai nodrošinātu blīvas, stehiometriskas plānas plēves optikai, sensoriem un pusvadītājiem.

Mikrostruktūras blīvēšana:Vienlaicīga jonu bombardēšana palielina iepakojuma blīvumu tuvu tilpuma vērtībām, sabrūkot graudu robežām.

Iekšējā stresa kontrole:Regulējama jonu -pret- atomu ienākšanas attiecība novērš plēves atslāņošanos uz trausliem substrātiem (silīcija, germānija, kausēta silīcija dioksīds).

Uzlabota adhēzija:Iepriekšēja tīrīšana ar jonu kodināšanu pirms nogulsnēšanas noņem dabiskos oksīdus un virsmas piesārņotājus.

Slēgta{0}}cikla automatizācija:PLC arhitektūra automatizē vakuuma sekvencēšanu, aizvaru iedarbināšanu, jaudas palielināšanu un gāzes MFC.

Siltuma izolācija:Ar ūdeni{0}}dzesētas kameras sienas un radiācijas vairogi aizsargā substrātus no e-staru kamīna starojuma.

Augsts{0}}vakuumsūknis:Magnētiskās levitācijas turbomolekulārais sūknis (1600 L/s N2) darbam bez eļļas.

Nelīdzenuma posms:Tiešās{0}}piedziņas rotācijas lāpstiņa savienota pārī ar Roots pūtēju ātrai pārejai.

Blīvējums un vārsti:Pneimatiskie aizbīdņi ar Viton/Metal Bakeout{0}}novērtētajām blīvēm.

Bloķējumi:Pirani un aukstā katoda mērītāji, kas integrēti ar pārspiediena aizsardzības shēmām.

Iztvaikošanas materiāli:
Oksīdi (SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5)
Fluorīdi (MgF2, YF3)
Ugunsizturīgi metāli (Ti, Cr, Al)

Pamatnes materiāli:
Kausēts silīcija dioksīds, optiskais stikls, ZnSe, silīcija vafeles, GaAs, nerūsējošais tērauds.

Precīzijas optika:Pret-atstarojoši pārklājumi, joslas caurlaides filtri un augstas{1}}atstarošanās spoguļi lāzera un DWDM telekomunikāciju sistēmām.

IR Windows:Aizsargājošas, izturīgas pret-atstarojošas plēves uz germānija un silīcija termiskās attēlveidošanas optikas.

Pusvadītāji:Dielektriskās izolācijas plēves un metāla kontaktpasivācijas slāņi.

Optoelektronika:Caurspīdīgi vadoši oksīda slāņi sensoru blokiem un plakaniem paneļiem.

Kameras ģeometrija:Pielāgoti aploksnes izmēri specializētām ražošanas džigiem vai liela{0}}formāta optikai.

Avota integrācija:Divas e{0}}pistoles konfigurācijas, termiskās pretestības laivas vai reaktīvie termiskās krekinga avoti.

Automatizācija:SECS/GEM{0}}saderīgs apgaismojums-izslēdz ražošanas programmatūras pakotnes.

Pamatnes stiprinājumi:Pielāgoti turētāji izliektām lēcām, mikro{0}}prizmām vai 300 mm plāksnēm.

Atbilstības standarti:Izstrādāts atbilstoši CE un SEMI S2/S8 tīrās telpas vadlīnijām.

Noplūdes noteikšana:Hēlija masas spektrometra pārbaude visām metinātajām šuvēm (noplūdes ātrums<= 1 x 10^-10 Pa*m^3/s).

Iededzināt-:72 stundu nepārtraukta mehānisko cauruļu un bloķētāju sausā darbība.

Viendabīguma pārbaude:Spektrofotometriskā analīze, kas pārbauda biezuma sadalījumu +/- 1% robežās visā turētājā.

Piegādes laika skala:Standarta ražošanas, FAT un kastes izpildes laiks ir 16–20 nedēļas no tehniskās izrakstīšanas un depozīta.

Vietnes sagatavošana:Visaptveroša komunālo pakalpojumu rokasgrāmata, kas nodrošināta iepriekš (norādot atdzesēta ūdens plūsmu, 380 V jaudu un saspiestu gaisu).

Nodošana ekspluatācijā:Uzstādīšana, kalibrēšana un procesa regulēšana, ko veic vecākie inženieri uz-uz vietas.

Dzīves cikla atbalsts:Vietēji noliktavas kritiskās rezerves daļas (pavedieni, kvarca kristāli, blīvējuma komplekti) ātrai nosūtīšanai.