Rūpnieciskās -pakāpes jonu-iztvaikošanas (IAE) sistēma, kas integrē vairāku-kabatas elektronu-staru iztvaikošanu ar enerģētiskā jonu stara avotu (beigu-Hall vai Kaufman konfigurācija). Reālā laika jonu bombardēšana pārnes kinētisko impulsu uz kondensējošiem adatomiem, nomācot kolonnu graudu augšanu un virzot plānās-plēves blīvuma virzienā uz masveida materiāla vērtībām.
Konfigurēts pakešu apstrādei planētu rotācijas ķermeņos ar dubultu-PLC automatizāciju. Galvenās pielietošanas iespējas ietver augsta-lāzera-bojājumu-sliekšņa (LIDT) optisko traucējumu pārklājumus, blīvus dielektriskos filtru kopumus un izturīgus aizsargpārklājumus.
Tehniskās specifikācijas un procesa iespējas
|
Parametrs |
Specifikācijas un procesa iespējas |
|
Galīgais bāzes spiediens |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (clean, dry, empty chamber) |
|
Sūkņa{0}}dīkstāves laiks |
< 15 min from atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
Kameras celtniecība |
304L / 316L nerūsējošais tērauds; iekšējā elektropulēšana (Ra<= 0.4 um) |
|
Elektronu stara avots |
6 kW/10 kW daudz-kabatas slaucīšanas pistole (4–6 tīģeļi) |
|
Jonu avota veids |
Gala-Hall vai Kaufman plašā-gaisma; Enerģija: 50 - 300 eV; Strāva: 0 - 1000 mA |
|
Pamatnes temperatūra |
Apkārtējā temperatūra līdz 300 °C (+/- 2 °C PID slēgta-cilpas vienmērīguma kontrole) |
|
Biezuma viendabīgums |
<= +/- 1.0% across a 400 mm deposition zone (with planetary rotation) |
|
Iekšējā stresa kontrole |
<= +/- 50 MPa (Compressive/Tensile tunable via ion energy adjustment) |
|
Refrakcijas indeksa atkārtojamība |
Delta n<= +/- 0.001 verified over 50 consecutive production runs |
|
Sistēmas pieejamība (darbspējas laiks) |
>= 95% darbības pieejamība nepārtrauktā vairāku{1}}maiņu ražošanā |
|
Vadības arhitektūra |
Divkāršs-PLC rūpnieciskais kontrolieris ar aparatūras drošības bloķēšanu un recepšu pārvaldību |
Galvenās iezīmes
Enerģētiskā jonu bombardēšana:Impulsa pārnešana reāllaikā novērš mikrotukšumus, stabilizējot refrakcijas indeksus pret mitruma-izraisītām spektrālajām nobīdēm.
Reaktīvā gāzes asiņošana:Kontrolēta O2 vai N2 daļējā spiediena iesmidzināšana kompensē skābekļa deficītu oksīda/nitrīda nogulsnēšanās laikā, noņemot sub-oksīda absorbcijas joslas.
Moduļu avota komplekts:Kasešu-stila jonu avota režģa nomaiņa un maināmās E-staru kabatas samazina kameras ventilācijas-līdz -vakuuma atjaunošanas laiku līdz mazāk nekā 2 stundām.
Vakuuma integritāte:Metāla-noblīvēti un Viton-noblīvēti ISO/CF atloki, kas savienoti pārī ar pneimatiskajiem aizbīdņa vārstiem, novērš šķērs{2}}piesārņojumu starp partijām.
Vakuuma sistēmas konfigurācija
Rupjdarba komplekts:Sakņu pūtējs, ko atbalsta rotācijas lāpstiņa vai{0}}eļļas nesaturoši hermētiski ritināmi mehāniski sūkņi.
Augsts{0}}vakuuma sūknis:Cryogenic pump (cryopump) or magnetically levitated turbomolecular pump (air throughput >= 2200 L/s).
Spiediena mērīšana:Pirani un karstā{0}}katoda jonizācijas mērinstrumenti nepārtrauktai reģistrēšanai no atmosfēras līdz augstam vakuumam.
Procesa spiediena regulēšana:Slēgts{0}}cilpas kapacitātes manometrs, kas vada automatizētu droseļvārstu gāzes iesmidzināšanas laikā.
Iztvaikošanas materiālu un substrāta saderība
Iztvaikošanas materiāli:
Oksīdi:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2
Fluorīdi:MgF2, LaF3
Metāli:Au, Ag, Al, Cr, Ti
Pamatnes materiāli:
Optiskais stikls (BK7, kausētais silīcija dioksīds, kvarcs)
Pusvadītāju vafeles (silīcijs, gallija arsenīds)
Kristāli (LiNbO3, safīrs, YAG)
Armatūras ģeometrija:Pielāgoti planētu rotācijas būri, kupola armatūra un plakani{0}}plākšņu turētāji, kas izstrādāti konkrētiem partijas apjomiem.
Lietojumprogrammas un empīriskās veiktspējas pierādījumi
Lāzera traucējumu filtri:Šaurjoslas un malu filtri, kuriem nepieciešama ekstinkcijas attiecība ar bloķēšanas dziļumu > OD6 pie 1064 nm.
Pret-atstarojošie (AR) pārklājumi:Daudzslāņu platjoslas AR pārklājumi lieljaudas-lāzera logiem un kameru optikai.
Priekšējie spoguļi:Metāla atstarotāji ar zemu-izkliedi, kas aizsargāti ar cietu dielektrisku pārklājumu kosmosa un aizsardzības instrumentiem.
Pusvadītāju dielektriskie slāņi:Pasivējošas un izolējošas dielektriskās plēves uzklāšana uz temperatūras{0}}jutīgiem substrātiem.
Pielāgošana
Kameras izmēri:Iekšējais diametrs ir no 700 mm līdz 1300 mm.
Avota integrācija:Divu E-staru uzstādījumi, termiskās pretestības avoti vai kop-nogulsnēšanas konfigurācijas.
Automatizācijas līmenis:Pusautomātiska manuāla ielāde vai pilnībā integrēta robotizēta substrāta apstrāde ar slodzes-fiksatoriem.
Atbilstība:CE, UL/CSA elektriskie paneļi un SEMI S2/S8 drošības atbilstības paketes.
Kvalitātes kontrole un rūpnīcas verifikācija
Noplūdes noteikšana:Masas spektrometra hēlija noplūdes pārbaude visām kamerām un blīvēm līdz < 1 x 10^-10 Pa*m^3/s.
Izmēru pārbaude:Iekšējo montāžas atloku un optiskās profilometrijas CMM pārbaude, kas apstiprina kameras sienu raupjumu (Ra<= 0.4 um).
Burn{0}}Pārbaudē:Vakuumsūkņu, augstsprieguma barošanas avotu un PLC bloķēšanas cilpu 72-stundu nepārtrauktas sausas darbības{2}}pārbaude.
Procesa pieņemšanas pārbaude (FAT):Standarta pārklājuma gaita, pārbaudot nogulsnēšanās ātruma stabilitāti un refrakcijas indeksa mērķus saskaņā ar iepriekš saskaņotajiem{0}}kritērijiem.
Uzstādīšana un tehniskais atbalsts
Pirms-instalēšanas norādījumi:Izkārtojuma rasējumi, kas aptver atdzesētu ūdeni, izplūdes ventilāciju, elektriskās slodzes un grīdas svaru.
Uz-Nodošana ekspluatācijā:Mehāniskās izlīdzināšanas, noplūžu pārbaužu, komunālo pakalpojumu savienojumu un kopīgās SAT pārbaudes lauka inženiertehniskā izpilde.
Procesa apmācība:Operatora un apkopes apmācība, kas aptver recepšu programmēšanu, jonu avotu apkalpošanu un sūkņa reģenerāciju.
Dzīves cikla atbalsts:Attālās diagnostikas saskarnes integrācija un lokalizēta rezerves daļu krājumu pārvaldība.
FAQ
J: Kā jonu palīdzība novērš optiskā viļņa garuma maiņu?
A: Enerģētiskā jonu bombardēšana sablīvē plēves struktūru, pārnesot impulsu uz adatomiem, novēršot mikroskopiskus tukšumus. Tas novērš atmosfēras mitruma absorbciju, bloķējot refrakcijas indeksu un pārraides spektru stabilitāti.
J: Kāds ir jonu avota apkopes protokols un dīkstāves laiks?
A. Bezrežģa gals-Hal jonu avotiem ir nepieciešama iekšējā komponentu pārbaude ik pēc 200–300 procesa stundām. Kasešu-stila ātrās-maiņas dizains ļauj tehniķiem nomainīt vai apkalpot jonu optiku un atgriezt kameru vakuumā 2 stundu laikā.
J: Vai sistēma var integrēt gan QCM, gan optisko uzraudzību?
A: Jā. Divkāršās{1}}uzraudzības konfigurācijas izmanto QCM sākotnējo bāzes slāņa ātrumam un optisko uzraudzību (OMS), lai izsekotu pārraides/atstarošanas galējībām precīzai ceturkšņa-viļņu slāņa izbeigšanai.
J: Kādas ir galvenās lietderības prasības standarta 900 mm kamerai?
A: 3-phase power (380V / 480V, 50/60 Hz), chilled cooling water (~ 15 to 20 deg C at 4 - 6 bar), compressed air (>= 0.6 MPa) un 99,999% tīras procesa gāzes (Ar, O2), kas regulētas ar 0.2 - 0.3 MPa.
Populāri tagi: jonu-iztvaikošanas plānas plēves aprīkojums, Ķīna jonu-iztvaicēšanas palīgkārtas iekārtu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
