Produkta pārskats
PVD Composite Thin Film Equipment ir rūpnieciska vakuuma pārklājuma platforma, kas izstrādāta daudzslāņu, sakausējumu un nanokompozītu plānu kārtiņu uzklāšanai. Integrējot magnetrona izsmidzināšanas un katoda loka avotus vienā vakuuma kamerā, sistēma ļauj precīzi kontrolēt plēves mikrostruktūru, atlikušo spriegumu un saskarnes adhēziju. Platforma ir izstrādāta nepārtrauktai ražošanai un progresīvai pētniecībai un attīstībai, un tā ir piemērota metāla, keramikas un polimēru substrātiem ar mērogojamu kameras ģeometriju.
-
![PVD kompozītu vakuuma uzklāšanas iekārtas]()
PVD kompozītu vakuuma uzklāšanas iekārtasŠī rūpnieciskā PVD kompozītmateriāla vakuuma pārklājuma platforma integrē vairākas nogulsnēšanas metodes vienas kameras vidē, lai uzklātu viendabīgas, daudzslāņu metāla, sakausējuma vai...Skatīt vairāk -
![PVD hibrīda plānslāņa pārklājuma sistēma]()
PVD hibrīda plānslāņa pārklājuma sistēmaPVD hibrīda plānslāņa pārklājuma sistēma apvieno termisko iztvaikošanu, elektronu staru (e-staru) iztvaikošanu un RF/DC magnetronu izsmidzināšanu vienā vakuuma arhitektūrā. Šī platforma nodrošina...Skatīt vairāk -
![PVD multi{0}}plānplēves apstrādes iekārtas]()
PVD multi{0}}plānplēves apstrādes iekārtasPVD Multi{0}}Process Thin Film Equipment ir integrēta vakuuma pārklājuma platforma, kas izstrādāta, lai vienotā vakuuma arhitektūrā apvienotu vairākas plānās -plānplēves ražošanas metodes, tostarp...Skatīt vairāk -
![PVD kompozītmateriālu uzklāšanas iekārtas]()
PVD kompozītmateriālu uzklāšanas iekārtasRūpnieciskās PVD kompozītmateriālu uzklāšanas iekārtas ir paredzētas daudzu{0}}komponentu, daudzslāņu un nano-kompozītmateriālu plāno- plēvju ražošanai. Sistēma integrē termisko iztvaikošanu,...Skatīt vairāk -
![PVD kompozītmateriālu plāno plēvju sistēma]()
PVD kompozītmateriālu plāno plēvju sistēmaRūpnieciska -pakāpju vakuuma pārklājuma sistēma, kas integrē magnetrona izsmidzināšanu (RF/DC/HiPIMS) un katoda loka iztvaikošanu. Paredzēts nepārtrauktai, daudzslāņu, sakausējuma un...Skatīt vairāk -
![PVD kompozītmateriālu plānās plēves iekārtas]()
PVD kompozītmateriālu plānās plēves iekārtasPVD Composite Thin Film Equipment ir rūpnieciska vakuuma platforma, kas paredzēta daudzslāņu, sakausējuma un šķiroto plānās plēves sintezēšanai. Izgatavots uz modulāras 304L/316L nerūsējošā...Skatīt vairāk
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikāciju diapazons |
|
Maksimālais vakuuma spiediens |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Darba spiediens |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Pamatnes temperatūra |
Apkārtējā līdz 800 grādiem (slēgta{1}}cilpa PID kontrolēta) |
|
Nosēdumu avoti |
Konfigurējams: līdzstrāvas/RF magnētiskā izsmidzināšana, impulsa līdzstrāva, filtrēts katoda loks |
|
Biezuma viendabīgums |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Kameras materiāls |
304L/316L nerūsējošais tērauds, mehāniski slīpēts un elektro-pulēts (Ra<= 0.4 um) |
|
Barošanas avota integrācija |
MF ģeneratori (10–100 kHz), RF ģeneratori (13,56 MHz), impulsa līdzstrāvas novirze |
|
Vadības sistēma |
Rūpnieciskais PLC + IPC ar automatizētu receptes izpildi, bloķēšanas uzraudzību un pakešu datu reģistrēšanu |
Kompozītu uzklāšanas process
Sistēma izmanto hibrīda fizisko tvaiku pārklāšanas arhitektūru, kas apvieno magnetronu izsmidzināšanas un katoda loka tehnoloģijas.
Vairāku-avotu sinerģija:
Vairāku katodu vienlaicīga vai secīga darbība nodrošina pēkšņas vai pakāpeniskas kompozīcijas pārejas visā plēves kaudzītē.
Iepriekšēja{0}}tīrīšana ar jonu kodināšanu:
RF vai līdzstrāvas plazmas tīrīšanas posmos pirms nogulsnēšanas tiek noņemti dabiskie oksīdi un virsmas piesārņotāji, lai palielinātu pārklājuma-uz-substrāta saķeri.
Reaktīvā nogulsnēšanās kontrole:
Slēgtā -cilpas optiskās emisijas spektroskopija (OES) regulē reaktīvo gāzes iesmidzināšanu (O2, N2, C2H2), lai uzturētu stabilu savienojuma stehiometriju un novērstu saindēšanos ar mērķi.
Substrāta nobīde:
Sinhronizēti impulsa nobīdes barošanas avoti bombardē augošo plēvi ar augstas{0}}enerģijas joniem, blīvējot mikrostruktūru un pielāgojot atlikušo spiedes spriegumu.
Filmu materiāli
Iekārta atbalsta plašu mērķa materiālu spektru pielāgotām funkcionālajām prasībām:
Pārejas metālu nitrīdi un karbīdi:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN nodilumizturībai un korozijai.
Nanokompozītu un daudzslāņu sistēmas:
TiSiN, AlTiSiN, metāla/keramikas nanoslāņi ārkārtējai cietībai un augstas{0}}temperatūras termiskai stabilitātei.
Caurspīdīgi vadoši oksīdi (TCO):
ITO, AZO, IGZO optoelektronikas un fotoelementu lietojumiem.
Tīri metāli un sakausējumi:
Ti, Cr, Al, Cu, Nerūsējošais tērauds, NiCr elektrisko kontaktu un difūzijas barjeras slāņiem.
Lietojumprogrammas
Precīzijas griešanas instrumenti:
Īpaši -cietu, zemas berzes-pārklājumu (piem., TiAlN) uzklāšana uz karbīda ieliktņiem, urbjiem un gala-frēzēm, lai pagarinātu ekspluatācijas laiku augstās termiskās slodzes apstākļos.
Automobiļu sastāvdaļas:
Berzes-samazināšanas un nodiluma-izturīgas plēves uz virzuļu gredzeniem, degvielas iesmidzināšanas daļām un zobratu blokiem.
Optoelektronika un displeji:
Zemas-pretestības, augstas-transmisijas vadītspējīgi oksīda slāņi skārienpaneļiem un saules bateriju pamatnēm.
Medicīniskās ierīces:
Bioloģiski saderīgi un{0}}nodilumizturīgi pārklājumi uz ķirurģiskiem instrumentiem un ortopēdiskajiem implantiem.
Pielāgošana un sistēmas konfigurācija
Inženiertehniskās konfigurācijas ir pielāgotas konkrētiem ražošanas iekārtas ierobežojumiem un procesa receptēm:
Kameras izmēri:
Cilindrisku vai taisnstūrveida kameru iespējas, sākot no pētniecības un izstrādes sērijveida sistēmām (500 mm diametrā) līdz liela mēroga -ražošanas slodzes-bloķēšanas sistēmām (1000 mm+).
01
Sūknēšanas komplekta izvēle:
Atbilstoši sakņu pūtēji, turbomolekulārie sūkņi un kriogēnie sūkņi, pamatojoties uz nepieciešamajiem sūkņa -dīkstāves laikiem un gāzes slodzes profiliem.
02
Pamatnes stiprināšana:
Pielāgoti planētu rotācijas posmi, 3-ass satelīta rotācija vai ruļļa-moduļi, kas paredzēti sarežģītām 3D ģeometrijām vai nepārtrauktiem tīkliem.
03
Automatizācijas līmenis:
Daļēji-automātiskas manuālas iekraušanas konfigurācijas vai pilnībā automatizētas vakuuma pārvietošanas sistēmas ar robotizētu substrāta apstrādi.
04
Ražošana un kvalitātes kontrole
Noplūdes noteikšana:
Katrai vakuuma kamerai tiek veikta hēlija masas spektrometra noplūdes pārbaude līdz slieksnim < 1 x 10^-10 Pa * m^3/s.
Metināšanas pārbaude:
Vakuuma -sānu šuves tiek metinātas, noslīpētas un pulētas, un pēc pieprasījuma tiek veikta rentgena vai krāsvielu caurlaidības pārbaude.
Atbilstība elektroierīcēm un drošībai:
Vadības paneļi, kas izgatavoti saskaņā ar NFPA 79 vai CE/IEC standartiem, un tiem ir aparatūras bloķētāji ūdens plūsmai, gāzes spiedienam un elektrodrošībai.
Rūpnīcas pieņemšanas pārbaude (FAT):
Pārbaude pirms nosūtīšanas ietver 72-stundu nepārtrauktu sausās-darba ciklu, vakuuma veiktspējas pārbaudi un testa pārklājuma uzklāšanu, izmantojot klienta norādītās receptes.
Vietnes sagatavošanas vadlīnijas:Sniegts visaptverošs iekārtas prasību dokuments, kurā sīki aprakstītas komunālo pakalpojumu saskarnes (dzesēšanas ūdens plūsma/spiediens, elektriskā slodze, saspiestais gaiss, izplūdes gāze).
Uz-Nodošana ekspluatācijā:Vietas servisa inženieri veic mehānisko izlīdzināšanu, vakuuma noplūdes pārbaudi, elektrisko savienošanu{0}}un sākotnējo kalibrēšanu.
Procesa receptes pielāgošana:-Sadarbība uz vietas ar klientu metalurgiem un procesu inženieriem, lai fiksētu mērķa plēves biezuma, sprieguma un cietības parametrus.
Dzīves cikla atbalsts:Attālās diagnostikas saskarne, lokalizēts rezerves daļu inventārs un plānotās profilaktiskās apkopes programmas.
FAQ
Mēs esam labi-pazīstami kā viens no vadošajiem PVC kompozītmateriālu plāno plēvju iekārtu ražotājiem un piegādātājiem Ķīnā. Ja plānojat iegādāties pielāgotu pvd kompozītmateriālu plānās plēves aprīkojumu, kas ražots Ķīnā, laipni lūdzam saņemt mūsu rūpnīcas cenu sarakstu. Par cenu konsultāciju sazinieties ar mums.
