Rūpnieciska -pakāpju vakuuma pārklājuma sistēma, kas integrē magnetrona izsmidzināšanu (RF/DC/HiPIMS) un katoda loka iztvaikošanu. Paredzēts nepārtrauktai, daudzslāņu, sakausējuma un nano-kompozītu plānas-plēves uzklāšanai ražošanas apjomā.
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikācijas vērtība |
|
Maksimālais vakuuma spiediens |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Kameras izmēri |
Pielāgots izmērs no D 600 mm x 600 mm līdz D 1500 mm x 1500 mm (304/316 L elektro-pulēts nerūsējošais tērauds) |
|
Nosēdumu avoti |
Konfigurējams: 2-6 magnetronu izsmidzināšanas katodi / 2-4 loka avoti |
|
Substrāta novirzes jauda |
Regulējams no 0 līdz -1000 VDC (impulss līdzstrāva dielektriskiem substrātiem) |
|
Plēves biezuma viendabīgums |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Pamatnes temperatūra |
Apkārtējā līdz 650 grādiem (+/- 2 grādu PID slēgta-cilpas vadība) |
|
Enerģijas sadale |
RF (13,56 MHz), līdzstrāvas, impulsa līdzstrāvas un vidēja{1}}frekvence (MF) ar loka slāpēšanu |
Galvenās iezīmes
Divkāršā{0}}tehnoloģiju integrācija:Apvieno izsmidzināšanu (gludas, amorfas savienojumu plēves) un katoda loku (augsta-jonizācijas metāla/sakausējuma nogulsnēšanās) vienā sūkņa-nolaišanas ciklā.
Slēgtā{0}}cikla gāzes pārvaldība:Masas plūsmas regulatori (MFC), kas savienoti pārī ar optisko emisiju monitoringu (OEM), stabilizē reaktīvās gāzes daļējo spiedienu.
Mehāniskā izolācija:Vairāku-asu planētu piedziņas izolē mehāniskos gultņus no procesa zonas, novēršot daļiņu piesārņojumu.
Termiskā arhitektūra:Divu-sienu ūdens-dzesēšanas kameras sienas un starojuma vairogs novērš termiskus kropļojumus lielas-jaudas darbības laikā.
Automatizācijas kodols:Siemens S7-1500 PLC un WinCC SCADA arhitektūra reāllaika bloķēšanas, gāzes un jaudas uzraudzībai.
Vakuuma sistēmas konfigurācija
Aptuvenais vilciens:Tiešās{0}}piedziņas rotācijas lāpstiņu sūkņi ar Roots pūtējiem ar magnētiskiem šķidruma blīvēm.
Augsts vakuums:Magnētiski levitēti turbo-molekulārie sūkņi (1200 - 3200 L/s) vai kriogēnie sūkņi.
Diagnostika:Integrēti hēlija masas spektrometra testa porti un automatizēti sekvencēšanas bloķētāji.
Materiālu un substrātu saderība
Mērķa materiāli:
Metāli:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Keramika/savienojumi:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Substrāti:Instrumentu tēraudi (H13, M2, karbīda ieliktņi), titāna/alumīnija strukturālie sakausējumi, inženiertehniskā keramika un silīcija plāksnes.
Lietojumprogrammas un pārbaudīta veiktspēja
Griešanas instrumenti:Zemas-berzes, augstas-cietības daudzslāņu pārklājumi (TiAlN/TiN) ilgākam instrumenta kalpošanas laikam, veicot sausu apstrādi ar ātrgaitas{3}}.
Automobiļi:Virzuļa gredzenu un degvielas iesmidzināšanas tapu nodiluma un pret-noberšanos pārklājumi.
Aviācija:Oksidācijas{0}}izturīga termiskā barjera un aizsargplēves uz kompresora lāpstiņām un stiprinājumiem.
Optika un elektronika:Vadošie caurspīdīgie oksīdi (ITO) un optisko traucējumu filtri.
Pielāgošanas opcijas
Kameras ģeometrija:Taisnstūrveida kārbu konfigurācijas partiju plauktu iekraušanai vai cilindriskām ierindas ģeometrijām.
Avota modernizēšana:Maināmi katoda montāžas atloki lauka pārveidošanai uz CFUBMS.
Plazmas kodināšana:Kaufmann{0}}tipa jonu pistoles vai dobu katodu avoti substrāta tīrīšanai in-situ.
Kvalitātes kontrole un rūpnīcas pārbaude
Vakuuma integritāte:Hēlija noplūdes pārbaudes slieksnis<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Virsmas apdare:Kameras iekšējās šuves elektro-pulētas līdz Ra<= 0.4 um.
TAUKI:72-stundu nepārtraukta vakuuma, kustības un drošības bloķēšanas cilpu pārbaude pirms kastes ievietošanas.
Atbilstības standarti:Izstrādāts atbilstoši CE mašīnu direktīvām un ISO 9001 standartiem. (Uzticības emblēmas ikonas: ISO 9001, CE, UL)
Uzstādīšana un tehniskais atbalsts
Dokumentācijas komplekts:P&ID shēmas, elektroinstalācijas shēmas, PLC avota loģika un CE/UL atbilstības dokumentācija.
Nodošana ekspluatācijā:Lauka inženieri uzrauga mehānisko pozicionēšanu, utilītu savienojumus un noplūdes pārbaudes pārbaudi.
SAT un receptes nodošana:Vietnes sākotnējās pārbaudes darbības un receptes optimizācija-.
FAQ
J: Kāds ir sūkņa -dīkstāves laiks līdz bāzes spiedienam?
A: Tīros, sausos un apkārtējās vides termiskajos apstākļos sasniedz < 5,0 x 10^-4 Pa 45 minūšu laikā.
J. Vai sistēma var pārslēgties starp līdzstrāvas un radiofrekvenču izsmidzināšanu procesa laikā{0}}?
A: Jā. Strāvas matrica nodrošina programmatūras -vadāmu secību starp līdzstrāvu, impulsu līdzstrāvu un RF, nepārtraucot vakuumu.
J. Kādas utilītas ir nepieciešamas-vietnē?
A: atdzesēts ūdens (15 līdz 20 grādi pie 0,3 līdz 0,4 MPa), saspiests gaiss (0,6 MPa), augstas -tīrības pakāpes procesa gāzes (Ar, N2, O2 pie 99,999%) un īpaša trīsfāzu rūpnieciskā jauda.
J: Kā tiek regulēta substrāta temperatūra nogulsnēšanas laikā?
A: Integrēti infrasarkanie pirometri, kas savienoti ar starojuma sildītāju bankām un PID slēgtās{0}cilpas vadību.
Populāri tagi: pvd kompozītmateriālu plāno plēvju sistēma, Ķīna pvd kompozītmateriālu plāno plēvju sistēmu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
