Augsta vakuuma elektronu staru iztvaikošanas iekārtas

EBE{0}}Sērijas augsta vakuuma elektronu staru iztvaikošanas sistēma uzklāj augstas-tīrības pakāpes plānas plēves optiskām, pusvadītāju un metalurģijas vajadzībām. Novirzot magnētiski fokusētu elektronu staru uz izejmateriāliem vakuuma kamerā, sistēma panāk lokālu sildīšanu un ātru iztvaikošanu. Šī metode novērš tīģeļa piesārņojumu un efektīvi apstrādā ugunsizturīgos metālus un augstas -tīrības dielektriķus.

Nerūsējošā tērauda kamerā ir integrēti kriosūkņi vai turbomolekulārie sūkņi, kas sasniedz bāzes spiedienu zem 5 x 10^-5 Pa, lai līdz minimumam samazinātu atlikušās gāzes iekļaušanu plēves augšanas laikā.

Tiešā e{0}}staru apkure:apiet pretestības laivu ierobežojumus; kausē materiālus ar augstu-kušanas-punktu, tostarp volframu, platīnu un alumīnija oksīdu.

Programmējama staru slaucīšana:Divu-asu elektromagnētiskās spoles sadala staru kūli pa iztvaikojošo virsmu, novēršot krāteru veidošanos un nodrošinot vienmērīgu materiāla patēriņu.

Vairāku{0}}kabatas indeksēšana:Ar ūdeni-dzesējami vara tīģeļi nodrošina secīgu daudzslāņu uzklāšanu, nesalaužot vakuumu.

QCM likmes uzraudzība:Duālie kvarca kristāla sensori uzrauga nogulsnēšanās ātrumu un plēves biezumu, savienojot tieši ar PLC/PID kontrolieri.

Drošības arhitektūra:Aparatūras bloķētāji aizsargā pret dzesēšanas ūdens atteici, augstu spiedienu kamerā un durvju blīvējuma noplūdi.

Nelīdzenuma posms:Divpakāpju-pakāpju rotācijas lāpstiņu sūknis, kas savienots pārī ar sakņu pūtēju, nodrošina ātru aptuveno spiedienu līdz 10 Pa.

Augsta vakuuma stadija:Turbo-molekulārais sūknis (1200 l/s līdz 2200 l/s) savienots ar slēgta-cilpas hēlija kriogēno sūkni, kas izolēts ar pneimatiskajiem aizbīdņa vārstiem.

Spiediena monitorings:Pilna -diapazona Pirani/aukstā katoda mērītāji izseko kameras spiedienu no atmosfēras līdz īpaši-augstam vakuumam.

Diagnostika:KF un CF atloku porti nodrošina hēlija noplūdes detektorus.

Pusvadītāju izgatavošana:Metāla vārtu kontakti, difūzijas barjeras slāņi un omi kontakti (Ti/Pt/Au, Cr/Au).

Optisko traucējumu filtri:Daudzslāņu pārklājumi lāzera spoguļiem, joslas caurlaides filtriem un pret-atstarojošām lēcām, izmantojot mainīgus dielektriskos oksīdus.

Fotoelementu pētniecība un attīstība:Plānas-plēves slāņi perovskīta un CIGS saules baterijām.

Funkcionālie pārklājumi:Aizsargājoši metāla oksīda slāņi kosmosa un sensoru komponentiem.

Kameras ģeometrija:Vertikālas vai horizontālas cilindriskas kameras, kas paredzētas lieliem plakaniem paneļiem vai 3D daļām.

Substrāta modifikācija:Līdzstrāvas/RF nobīde jonu -nogulsnēšanai (IAD) un substrāta sildītājiem ar nominālo temperatūru līdz 600 °C.

Ielādēt{0}}bloķēšanas integrāciju:Viena- vai divu-plāksnīšu ielādes-bloķēšanas kameras, lai samazinātu sūkņa-nolaišanas ciklus lielas-caurlaidības laikā.

Kontroles integrācija:Pielāgoti PLC/SCADA skripti, kas atbalsta recepšu automatizāciju, datu reģistrēšanu un SECS/GEM komunikāciju.

Hēlija masas spektrometra noplūdes pārbaude:Pirms rūpnīcas pieņemšanas kameras pārbaudītas līdz sliekšņiem, kas mazāki par 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Elektriskās drošības pārbaude:Augsta-sprieguma izolācijas pretestība, zemējuma nepārtrauktība un bloķēšanas testi, kas veikti saskaņā ar CE/IEC standartiem.

Izmēru pārbaude:Koordinātu mērīšanas mašīnas (CMM) blīvējuma virsmu un atloku izlīdzināšanas pārbaude.

Rūpnīcas pieņemšanas pārbaude (FAT):72 stundu nepārtraukta vakuuma sūkņu, kustības bloku un barošanas bloku sausa darbība ar pilniem datu ziņojumiem.

Uz-Nodošana ekspluatācijā:Inženieri pārvalda kameras izlīdzināšanu, komunālo pakalpojumu savienojumus (ūdens, elektrība, gāze, izplūdes gāze) un sākotnējo izspiešanu vakuumā{0}}.

Procesa kalibrēšana:Tehniskais atbalsts nosaka sākotnējo nogulsnēšanas ātrumu un plēves biezuma kalibrēšanas līknes vietas pieņemšanas testēšanas (SAT) laikā.

Rezerves daļu piegāde:Kritiskās nodiluma daļas-pavedieni, tīģeļi, QCM kristāli un vakuuma blīvējumi-uzglabāti lokāli.

Attālā diagnostika:Droši diagnostikas moduļi nodrošina reāllaika{0}}PLC žurnāla izgūšanu ātrai problēmu novēršanai.