Elektronu staru iztvaikošanas plānslāņa sistēma

EBE-Sērijas elektronu staru iztvaikošanas sistēma ir izstrādāta metālu, dielektriķu un optisku materiālu fiziskai tvaiku pārklāšanai (PVD) ar augstu-kušanas-punktu. Izmantojot magnētiski novirzītu, fokusētu elektronu staru tieši uz izejmateriāliem ūdens -dzesējamos tīģeļos, sistēma sasniedz augstu nogulsnēšanās ātrumu, vienlaikus saglabājot vakuuma vidi bez piesārņojuma.

Šī platforma ir paredzēta ražošanas līnijām un progresīvām pētniecības laboratorijām, un tā atbalsta daudzslāņu plānos{1} plēves ražošanu ar precīzu ātruma kontroli, padarot to piemērotu optisko traucējumu filtriem, pusvadītāju metalizācijai un nodilumizturīgiem pārklājumiem.

Magnētiskā stara novirze:270 grādu lieces e-pistoles ģeometrija nodrošina, ka kvēldiegs ir pasargāts no tiešas redzamības--materiāla izspļaušanas, novēršot īssavienojumus un kvēldiega degradāciju.

Slēgta{0}}cikla ātruma kontrole:Integrē daudzkanālu kvarca kristāla sensorus ar proporcionāla-integrālā-atvasinājuma (PID) algoritma izvadi, lai dinamiski regulētu e-emisijas strāvu un nogulsnēšanās ātrumu.

Moduļu tīģeļu klājs:Indeksēšanas mehānismā tiek izmantotas ferofluidiskas plūsmas un tiešās{0}}piedziņas pakāpju motori, kas nodrošina ātru,-bez daļiņu tīģeļa pārslēgšanu vakuumā.

Bloķēta drošības arhitektūra:Aparatūras{0}}līmeņa bloķētāji uzrauga dzesēšanas ūdens plūsmu, vakuuma sliekšņus un kameras durvju statusu, lai aizsargātu operatorus un augstsprieguma{1}}komponentus.

Vakuuma mezgls{0}}ir izveidots, lai nodrošinātu sākotnējo tīrību un ātru pārvietošanos:

Rupjš un priekšējā līnija:Sausais -sūknis bez eļļas (jauda: 30 m³/h) novērš ogļūdeņraža atgriešanos galvenajā kamerā.

Augsts vakuums:Salikts turbo{0}}molekulārais sūknis, ko nodrošina elektropneimatiskie aizbīdņi un pneimatiskie leņķvārsti.

Spiediena monitorings:Apvienotie Pirani un Bayard-Alpert jonu mērītāji nodrošina reāllaika-reāllaika atgriezenisko saiti visā atmosfērā līdz īpaši augstam vakuumam (10⁻⁹ Torr).

Cepšanas iespēja:Izvēles kvarca infrasarkanie sildītāji vai apvalka sildītāji nodrošina kameras termisko degazēšanu, lai ātrāk sasniegtu bāzes spiediena sliekšņus.

Atbalstītie avota materiāli
Ugunsizturīgi metāli:Ti, Ta, W, Mo, Cr, Ni, Au, Ag, Al, Cu.

Dielektriķi un oksīdi:SiO₂, TiO₂, Ta2O5, Al2O3, HfO₂, Nb2O5.

Substrāta saderība
Pusvadītāju vafeles:2 collu līdz 8 collu silīcijs, GaAs, safīrs.

Optiskie substrāti:Kausēta silīcija dioksīda, BK7, Zerodur, germānija un cinka selenīda lēcas/prizmas.

Elastīgi substrāti:Poliimīda plēves (izmantojot specializētus ruļļu{0}}uz-ruļļu vai nesošo plākšņu stiprinājumus).

Lāzera optika:Zemas-izkliedes, augsta-lāzera-bojājumu-sliekšņa (LIDT) dielektrisko skursteņu (TiO₂/SiO₂) nogulsnēšanās lielas-jaudas spoguļiem un staru sadalītājiem.

Pusvadītāji un mikroelektronika:Metāla nogulsnēšana, omu kontaktu veidošana un atdalīšanas{0}}metalizācijas procesi atsevišķām ierīcēm un sensoriem.

Optoelektronika:Caurspīdīgi vadoša oksīda (TCO) slāņi un metāla katoda iztvaicēšana OLED un fotoelektrisko elementu ražošanai.

Katrai ražošanas videi ir unikāls izkārtojums un integrācijas ierobežojumi. Rūpnīcas inženiertehniskās modifikācijas ietver:

Kameras ģeometrija:Pielāgoti portu izvietojumi in{0}}in situ diagnostikai (piemēram, elipsometrija, SIMS vai RHEED).

Ielādēt-bloķēšanas integrāciju:Lineāras magnētiskās pārvades sviras vai automātiska pneimatiskā dakšu pārnešana savienošanai ar kopu instrumentiem vai cimdu nodalījuma līnijām.

Substrāta slīpēšana un sildīšana:RF/DC nobīdes barošanas avoti jonu -pārklāšanai (IAD) un substrāta uzsildīšanai līdz 800 grādiem.

PLC un HMI lokalizācija:Siemens S7 vai Allen-Bradley PLC vadības arhitektūras, kas atbilst noteiktiem rūpnīcas automatizācijas protokoliem.

Noplūdes pārbaude:Katrai metinātajai nerūsējošā tērauda kamerai pirms montāžas tiek pārbaudīta hēlija masas spektrometra noplūde- ar jutību < 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s.

Augstsprieguma{0}}izolācijas pārbaude:E-pistoles barošanas avoti tiek pakļauti dielektriskās izturības pārbaudei ar nominālo spriegumu 1,5 x plus 1000 V 60 sekundes.

Rūpnīcas pieņemšanas tests (FAT):Sistēmām tiek veikta nepārtraukta 72-stundu degšana-pārbaudē, pārbaudot sūknēšanas ātruma līknes, e-pistoles kalibrēšanu un plēves biezuma viendabīgumu pār testa substrātiem pirms kastes ievietošanas.

Dokumentācijas pakete:Visaptverošas rokasgrāmatas, tostarp elektriskās shēmas, P&ID diagrammas, PLC pirmkodi, materiālu drošības datu lapas un kalibrēšanas sertifikāti.

Vietnes pakalpojumi:-Rūpnīcas -sertificēti servisa inženieri veic mehānisko montāžu, komunikāciju (dzesēšanas ūdens, izplūdes gāzu, jauda) un vietas pieņemšanas testēšanu (SAT).

Attālā diagnostika:Droša VPN maršrutētāja integrācija ļauj vecākiem procesu inženieriem veikt attālo problēmu novēršanu, parametru optimizāciju un programmatūras atjauninājumus.