Elektronstaru plānās plēves pārklājuma sistēma nodrošina virzītu, augstas{0}}tīrības pakāpes PVD apstrādi progresīvai pētniecībai un rūpnieciskai ražošanai. Izmantojot fokusētu, magnētiski vadītu elektronu staru, kas vērsts uz izejmateriālu ūdens -dzesēta vara tīģelī, sistēma nodrošina ugunsizturīgo metālu, oksīdu un dielektrisko savienojumu termisko iztvaikošanu bez tīģeļa piesārņojuma.

Arhitektūra, kas izstrādāta integrācijai tīrā telpā, apvieno modulāras vakuuma kameras, vairāku -kabatas E-staru pistoles un slēgtas-cilpas procesa automatizāciju, lai regulētu plēves biezumu, stehiometriju un saskarnes asumu.

Tehniskās specifikācijas

Parametrs	Specifikāciju diapazons/detaļa
Galīgais bāzes spiediens	< 5 x 10^-7 Torr (Cryogenic or turbomolecular configurations)
Sūkņa{0}}dīkstāves laiks	< 15 minutes to 1 x 10^-5 Torr (Clean, dry, empty chamber)
E-Siju ieroču spēks	3 kW līdz 10 kW (vairāku kabatu{2}}slaucīšanas kontrolieris ar automātisko-slaucīšanu)
Tīģeļa konfigurācija	4 līdz 6 kabatas; No 7 cc līdz 40 cc kabatā
Substrāta turētājs	Rotācijas -iespējotas, ūdens/sildītājs-vadāmas pakāpes, kas atbalsta līdz 200 mm vafeles vai pielāgotas plakanas pamatnes
Plēves biezuma viendabīgums	< +/- 1% across a 100 mm deposition area (Optimized via planetary fixture or source-to-substrate distance)
Nogulsnēšanās ātruma kontrole	No 0,01 nm/s līdz 10 nm/s regulē ar divkanālu kvarca kristāla mikrobalansu (QCM)
Kameras materiāls	304 l nerūsējošais tērauds, elektropulēts (Ra < 0,25 um), iekšējie metinājumi ar augstu -vakuuma

Galvenās iezīmes

270 grādu magnētiskā novirze:Izliec elektronu trajektoriju, lai pasargātu emitētāja pavedienu no tiešas tvaika plūsmas, pagarinot darbības ilgumu un stabilizējot emisijas strāvu.

Digitālā slaucīšanas kontrole:Programmējamie staru modeļi novērš lokālu tīģeļa tuneli un nodrošina vienmērīgu materiāla patēriņu vairāku{0}}kabatu pavardu vietās.

Slēgtā{0}}cikla QCM noteikumi:Divu{0}}sensoru atgriezeniskā saite dinamiski pielāgo barošanas avota izejas, lai stabilizētu nogulsnēšanās ātrumu un nomāktu sakausējuma stehiometrijas novirzi.

PLC bloķēšanas arhitektūra:Dzesēšanas ūdens plūsmas, augstsprieguma-izolācijas, durvju blīvējumu un priekšējās līnijas spiediena uzraudzība reāllaikā, lai aizsargātu operatorus un vakuuma integritāti.

Papildu nogulsnēšanas porti:Atloku piekļuves punkti atbalsta sekundāro integrāciju, tostarp termolaivas, jonu -atbalstītas nogulsnēšanas (IAD) režģveida jonu pistoles un magnetronu izsmidzināšanas katodus.

Vakuuma sistēmas konfigurācija

Nelīdzenuma posms:Bezeļļas-sūknis, kas savienots pārī ar sakņu pūtēju, nodrošina vibrāciju-izolētu aptuvenu spiedienu līdz 10^-2 Torr, novēršot ogļūdeņražu pretplūsmu.

Augsta{0}}vakuuma stadija:Turbomolekulārais sūknis (1200 l/s līdz 2200 l/s), kas nodrošināts ar kriogēno slazdu, kas nodrošina darbības procesa spiedienu no 10^-6 līdz 10^-4 Torr.

Kameras konstrukcija:Ar dubultu-O-gredzenu noslēgtu, spriedzi atbrīvotu-304 L nerūsējošais tērauds ar elektropulētām iekšējām virsmām, lai samazinātu gāzu izdalīšanos un mitruma aizturi.

Filmu materiāli un substrāti

Saderīgi uzklāšanas materiāli
Ugunsizturīgi metāli:Titāns (Ti), hroms (Cr), tantals (Ta), molibdēns (Mo), volframs (W), platīns (Pt), zelts (Au).

Dielektriķi un oksīdi:Silīcija dioksīds (SiO2), titāna dioksīds (TiO2), tantala pentoksīds (Ta2O5), alumīnija oksīds (Al2O3), hafnija dioksīds (HfO2).

Saderīgi substrāti
Pusvadītāju plāksnes (Si, GaAs, InP, 2 collu līdz 8 collu).

Optiskā stikla sagataves, kvarca, kausēta silīcija dioksīda un safīra logi.

Elastīgas metāla folijas un keramikas substrāti (Al2O3).

Lietojumprogrammas

Pusvadītāju izgatavošana:Metāla vārtu kontaktu nogulsnēšana, barjeru slāņi un noņem{0}}metalizācijas skursteņi mikroelektronikas izpētei un izmēģinājuma līnijām.

Precīzijas optika:Daudzslāņu optisko traucējumu filtri, pret-atstarojoši (AR) pārklājumi, augstas-atstarojuma lāzera spoguļi un staru sadalītāji.

Optoelektronika:Caurspīdīgi vadoši elektrodi un plānas{0}}plēves slāņi OLED displejiem, fotodetektoriem un saules baterijām.

Uzlaboti materiāli:Magnētiskā sakausējuma augšana, supravadītāju prekursori un nodilumizturīgi-aizsargpārklājumi.

Pielāgošanas opcijas

Kameras izmēri:Mērogoti vertikāli vai horizontāli tilpumi, lai tie atbilstu ne-standarta industriālajiem ķermeņiem vai lieliem{1}}platības paneļiem.

Kop-iztvaicēšanas iestatījumi:Vairāku E{0}}staru pistoļu un termiskās efūzijas elementu integrācija sarežģītu sakausējumu sintēzei.

Ielādēt{0}}bloķēšanas integrāciju:Manuālas vai automatizētas lineārās pārneses sviras, lai uzturētu augstu -vakuuma integritāti augstas{1}}caurlaidības vafeļu ielādes laikā.

Programmatūras integrācija:SCADA pielāgoti protokoli, kas atbalsta recepšu rediģēšanu, audita reģistrēšanu un SECS/GEM rūpnīcas automatizācijas standartus.

Kvalitātes kontrole

Hēlija noplūdes noteikšana:Masas spektrometra pārbaude nodrošina, ka kameras metināšanas noplūdes līmenis paliek zem 1 x 10^-9 atm*cm3/sek.

Elektriskā pārbaude:Augstsprieguma{0}}izolācijas pārbaude, zemējuma nepārtrauktības pārbaudes un bloķēšanas reakcijas validācija atbilstoši rūpnieciskās drošības kodiem.

Rūpnīcas pieņemšanas pārbaude (FAT):72-stundu nepārtraukta darbības iedegšana, ierakstot galīgās vakuuma līknes, pistoles emisijas stabilitāti un automatizētu receptes izpildi pirms nosūtīšanas.

Uzstādīšana un tehniskais atbalsts

Pirms-instalēšanas rokasgrāmata:Detalizēta dokumentācija par slēgtā{0}cilpas dzesētā ūdens cilpām, nosūces ventilāciju, elektriskās slodzes prasībām (380V/480V 3-fāzu) un tīrās telpas grīdas slodzi.

Nodošana ekspluatācijā uz vietas:Mehāniskā pozicionēšana-uz vietas, vakuuma līnijas savienošana-, elektriskie savienojumi un bāzes līnijas kalibrēšana, ko veic rūpnīcas servisa inženieri.

Darbības apmācība:Praktiski{0}}norādījumi par kvēldiega nomaiņu, tīģeļa atkārtotu ielādi, QCM kalibrēšanu un parasto PLC problēmu novēršanu.

FAQ

J: Kāds ir standarta sūkņa dīkstāves laiks-no atmosfēras līdz darba spiedienam?

A: Ar tīru, sausu kameru un standarta turbomolekulāro iestatījumu sistēma sasniedz darbības bāzes spiedienu 5 x 10^-6 Torr mazāk nekā 15 minūtēs.

J: Vai sistēmu var konfigurēt kop{0}}nogulsnēšanai?

A: Jā. Vairāku-pistoles konfigurācijas vai kombinētie E-staru un siltuma avota iestatījumi nodrošina vienlaicīgu kop-iztvaikošanu ar neatkarīgiem ātruma regulatoriem.

J: Kādi objekta komunālie pakalpojumi ir nepieciešami?

A. Nepieciešamās utilītas ir slēgta -cilpas atdzesēts ūdens (~20 grādi C, 0,3 MPa), saspiests gaiss (0,6 MPa) pneimatiskajiem vārstiem, N2 attīrīšanas līnijas un īpaša 3 fāzu elektriskā jauda, kas atbilst izvēlētajam barošanas avotam (3 kW līdz 10 kW).

J: Kā tiek novērsta dažādu izejmateriālu savstarpēja{0}}piesārņošana?

A. Daudz{0}}kabatu pavards izmanto ūdens-dzesētu vara komplektu ar maināmu kabatas rotāciju, fiziski un termiski izolējošiem materiāliem, ko papildina pielāgots ekranējums, lai apturētu šķērsplūsmu.

Populāri tagi: elektronu staru plānslāņa uzklāšanas sistēma, Ķīnas elektronu staru plānslāņa uzklāšanas sistēmu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca