Rūpnieciskās PVD kompozītmateriālu uzklāšanas iekārtas ir paredzētas daudzu{0}}komponentu, daudzslāņu un nano-kompozītmateriālu plāno- plēvju ražošanai. Sistēma integrē termisko iztvaikošanu, e-staru iztvaikošanu un magnetronu izsmidzināšanas avotus vienā vakuuma vidē, lai kontrolētu plēves sastāvu, saskarnes asumu un atlikušo spriegumu. Izstrādāta nepārtrauktai pētniecībai, izstrādei un ražošanai, arhitektūrai ir zems bāzes spiediens, modulāra avota konfigurācija un tīra piekļuve apkopei.
Tehniskās specifikācijas
|
Parametrs |
Specifikācijas diapazons / vērtība |
|
Maksimālais vakuuma spiediens |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Sūkņa{0}}dīkstāves laiks |
Atmosfēras līdz 6,0 x 10^-4 Pa collas<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Pamatnes turētāja izmērs |
Pielāgotas konfigurācijas: līdz Dia. 600 mm plakanām plāksnēm vai planētu posmiem |
|
Plēves biezuma viendabīgums |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Pamatnes temperatūras diapazons |
Apkārtējā temperatūra līdz 800 °C (kontrolēta PID, kvarca halogēna/pretestības sildīšana) |
|
Nosēdumu avoti |
Daudz-kabatas e-staru pistoles, termolaivas un RF/DC magnetronu katodi |
|
Kameras materiāls |
304L/316L nerūsējošais tērauds, elektro-pulētas iekšējās sienas (Ra<= 0.2 um) |
|
Sistēmas vadības interfeiss |
PLC + IPC arhitektūra, automatizēta recepšu izpilde, SCADA reģistrēšana |
Galvenās iezīmes
Moduļu avota integrācija:Kameras pieslēgvietas nodrošina vienlaicīgu vai secīgu iztvaikošanas un izsmidzināšanas avotu darbību bez šķērs{0}}piesārņojuma.
Dinamiskā substrāta manipulācija:Vairāku-asu planētu vai šūpošanās rotācijas piedziņas mehānismi nodrošina konformālu pārklājumu uz sarežģītiem 3D substrātiem un dziļām tranšejām.
In-Situ uzraudzības porti:Iepriekš izlīdzināti atloki kvarca kristāla mikrobalansam (QCM), optiskās emisijas spektroskopijai (OES) un platjoslas optiskajai uzraudzībai (BOM).
Augstas-tīrības vakuuma integritāte:Metāla-noblīvēti konflatīvie (CF) atloki, pneimatiskie aizbīdņi un hēlija masas spektrometra noplūdes pārbaude līdz 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.
Automātiskā bloķēšanas drošība:Reāllaika-sensora atgriezeniskā saite aizsargā pret dzesēšanas ūdens atteici, saspiestā gaisa zudumu un pārmērīgas-temperatūras anomālijām.
Vakuuma sistēmas konfigurācija
Roughing un Roots sūkņi:Eļļas -sausie skrūvju sūkņi kopā ar sakņu pūtējiem novērš ogļūdeņraža atgriešanos procesa kamerā.
Augsta{0}}vakuuma sūkņi:Magnētiski levitēti turbomolekulārie sūkņi vai slēgtas -cilpas hēlija kriogēnie sūkņi, kas atlasīti atbilstoši mērķa gāzes slodzes prasībām.
Spiediena regulēšana:Droseles vārstu regulatori, kas integrēti ar kapacitātes manometriem, reaktīvo darbību laikā uztur stabilu procesa spiedienu (0,1 Pa līdz 10 Pa).
Materiālu un substrātu saderība
Nogulsnēšanas materiāli
Metāli:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Oksīdi un dielektriķi:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nitrīdi un karbīdi:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Pamatnes materiāli
Pusvadītāji:Silīcija vafeles (100 mm līdz 300 mm), stikls, kvarcs, safīrs
Metāli un sakausējumi:Nerūsējošais tērauds, titāna sakausējumi, instrumentu tēraudi, supersakausējumi
Keramika un polimēri:Alumīnija, cirkonija, poliimīda plēves
Lietojumprogrammas
Optisko traucējumu filtri:Daudzslāņu pret-atstarojošie (AR) pārklājumi, frekvenču joslas filtri un spoguļi ar augstu-atstarotāju lāzeriem un sensoriem.
Nodilumizturīgi-cietie pārklājumi: Nanokompozītu nitrīda pārklājumi (TiAlN/Si3N4) uz precīziem griezējinstrumentiem un automobiļu vārstu mehānismiem.
Mikroelektroniskās plānās plēves:Vadītspējīgi barjeras slāņi, sēklu slāņi un kontaktmetalizācijas skursteņi pusvadītāju iepakošanai.
Funkcionālās enerģijas plēves:Caurspīdīgi vadoši oksīdi (TCO) un absorbcijas slāņi fotoelektriskajām un sensoru ierīcēm.
Pielāgošanas opcijas
Kameras izmēri:Mērogots apjoms no pētniecības un izstrādes skalas (400 mm kubs) uz ražošanas apjomu (diametrs . 1200 mm cilindrisks).
Avota portu izkārtojumi:Pielāgota atloka pozicionēšana, lai integrētu -trešās puses jonu avotus, plazmas-nogulsnēšanos (PAD) vai RF novirzes ģeneratorus.
Ielādēt{0}}bloķēšanas integrāciju:Manuālas ielādes-bloķēšanas, vienas-vafeles ielādes-bloķēšanas vai vairāku-kameru kopu rīku konfigurācijas, lai novērstu oksidēšanos.
Kvalitātes kontrole un globālā atbilstība
Globālā atbilstība elektroierīcēm un drošībai:Vadības skapji, kas izgatavoti atbilstoši UL 508A/NFPA 79 (Ziemeļamerika), CE (Eiropa) un SEMI S2/S8 EHS vadlīnijām.
Vakuuma pārbaude:Metinātajās kamerās pirms virsmas apdares tiek veikta hēlija masas spektrometra noplūdes noteikšana.
Izmēru pārbaude:Koordinātu mērīšanas mašīna (CMM) avota montāžas plakņu un substrāta pielaides pārbaude.
Rūpnīcas pieņemšanas tests (FAT):72-stundu nepārtraukta sausā{2}}darba tests, kas ieraksta bāzes spiediena samazināšanos, izsūknēšanas līknes un PLC atbildes žurnālus.
Uzstādīšana un tehniskais atbalsts
Pirms-instalācijas inženierija:Iekārtas prasību rokasgrāmatu nodrošināšana (komunālie pakalpojumi, dzesēšanas ūdens plūsma/spiediens, izplūdes ventilācija, tīras telpas grīdas noslogojums).
Uz-Nodošana ekspluatācijā:Vietas servisa inženieri pārrauga takelāžu, vakuuma līnijas pievienošanu, elektrisko pieslēgšanu-un sākotnējo sūkni-nolaišanu.
Procesa regulēšanas palīdzība:Kopīgi tiek veikti izmēģinājumi ar klientu inženieru komandām, lai pārbaudītu plēves viendabīgumu un nogulsnēšanās ātrumu.
Dzīves cikla atbalsts:Attālās diagnostikas moduļa integrācija{0}}reāllaika PLC problēmu novēršanai, ko atbalsta lokalizēts rezerves daļu krājums.
Bieži uzdotie jautājumi
J: Kāds ir pielāgotas sistēmas izpildes laiks?
A: Standarta konfigurācijām ir nepieciešamas 16 līdz 24 nedēļas no rasējuma apstiprināšanas līdz rūpnīcas gatavībai atkarībā no vakuumsūkņa izpildes laikiem.
J: Kā tiek pārvaldīts savstarpējais-piesārņojums vairāku-avotu kop-nogulsnēšanas laikā?
A: Kameras ietver fizisku ekranējumu starp avotiem, atsevišķu avotu aizbīdņus un virziena gāzes sadales gredzenus, lai novērstu daļiņu migrāciju.
J: Vai šo aprīkojumu var integrēt tīras telpas iekārtā?
A: Jā. Sistēmas atbalsta, izmantojot-sienas (dzeltenā telpa/tīrā telpa) uzstādīšanu, procesa kameru ievietojot tīrajā telpā un komunālo pakalpojumu statīvus servisa zonā.
J: Kādas komunālo pakalpojumu prasības jāsagatavo pirms piegādes?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 bārs), saspiestais gaiss (6 bar sauss/filtrēts) un speciāla rupjā apstrādes sūkņa izplūdes līnija.
Populāri tagi: pvd kompozītmateriālu nogulsnēšanas iekārtas, Ķīnas pvd kompozītmateriālu uzklāšanas iekārtu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
